Gebraucht ASML PAS 5500 / 400 #293817861 zu verkaufen

ASML PAS 5500/400 ist ein hochpräziser, 5-achsiger automatisierter Wafer-Stepper für die Serienfertigung von Mikrolithographie-Komponenten. Dieser Stepper nutzt eine Koch/Oerlikon-patentierte Scantechnologie, um eine präzise Abtastung von Halbleiterwaferoberflächen zu ermöglichen, um Muster für Halbleiterbauelemente mit seinen integrierten Schnellabtastfunktionen zu bilden. Der PAS 5500/400 verfügt über ein innovatives Wafer-Futtergerät, das eine präzise Handhabung und Ausrichtung von Wafern sowie eine präzise Steuerung der Abtastgeschwindigkeit und Beschleunigung des Steppers ermöglicht. Der Stepper verfügt zudem über eine präzise und wiederholbare Motorsteuerung, die eine präzise Führung von Abtastgeschwindigkeit und Beschleunigung sowie eine adaptive Kompensation ermöglicht, um gleichbleibend präzise, wiederholbare Abtastmuster zu ermöglichen. Um eine stabile Handhabung und Ausrichtung des Wafers zu gewährleisten, verfügt der Stepper über ein fortschrittliches, automatisches Aktuatorsystem, das eine präzise Ausrichtung des Spannfutters auf den beweglichen Tisch gewährleistet. Die Optikeinheit des ASML PAS 5500/400 ist für sehr hohe Genauigkeit und eine 300MM (12 Zoll) Fokusfeldgröße ausgelegt. Es wurde entwickelt, um Submikron-Level-Muster mit maximaler Overlay, Steigung, Fokus und Linearität Genauigkeit zu produzieren. Es verfügt auch über eine verstellbare optische Maschine, die eine präzise Optimierung der Belichtung und Fokusvariabilität ermöglicht. Das Tool verfügt außerdem über eine Netzwerkfunktion auf Clusterebene, die einen Fernzugriff auf den Asset-Status und die Daten sowie die Fernbedienung und Steuerung des Steppers bei Modellausfall ermöglicht. Darüber hinaus verfügt der Stepper über integrierte Diagnosefunktionen, die es Anwendern ermöglichen, die Komponenten des Schrittschalters wie optische und motorische Leistung zu diagnostizieren, um einen optimalen Betrieb zu gewährleisten. PAS 5500/400 ist ideal für den Einsatz in einer Produktionsumgebung und bietet hochpräzise, wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse, die immer wieder repliziert werden können. Seine fortschrittlichen Funktionen und Design machen es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet und seine benutzerfreundliche Oberfläche und Netzwerkfunktionen machen es zu einer idealen Wahl.