Gebraucht ASML PAS 5500 / 400B #293817860 zu verkaufen
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ID: 293817860
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.65
Resolution: 280 nm
DCO: 45
Throughput (WPH): 104.
ASML PAS 5500/ 400B ist ein für die Halbleiterphotolithographie konzipierter Tauchschrittmacher. Es ist die ideale Wahl für die zuverlässige Herstellung von hochgenauen Mustern auf integrierten Schaltungschips. Die fortschrittliche optische und mechanische Technologie dieser hochmodernen Maschine macht sie ideal für Produkte im Sub- und Nanometermaßstab. PAS 5500/ 400B bietet einen leistungsstarken, scanartigen Stepper mit Luftlagerstufe. Der Scanner verfügt über eine hochpräzise Servo-Schleifensteuerung und ein verbessertes HeNe-Laser-Autokollimator-Interferometer. Die Maschine bietet auch erweiterte Bildauswertungsprogramme, hohe Genauigkeit und überlegene Ausrichtung. Es ist in der Lage, hohe Durchsatz, schnelle Platzbreite (Seitenwandwinkel) Erzeugung, und bietet einen guten Kontrast in lamellaren Musteranwendungen. ASML PAS 5500/ 400B ist in der Lage, Belichtungsprogramme von jenen, die für lange Belichtungsläufe für Prototyping erforderlich sind, bis zu jenen, die kurze Belichtungszeiten für hohe Ertragsproduktion und maximalen Durchsatz erfordern. Es ist auch in der Lage, Wafergrößen bis zu 8-Zoll-Durchmesser zu handhaben, und kann Werkzeuggrößen bis zu 5 Mikron verarbeiten. Die Maschine bietet eine gleichmäßige und präzise Belichtungsleistung über alle Feldgrößen. Diese kristallflache Optik sorgt für eine überlegene Fokustiefe über alle Feldgrößen hinweg, während ein Autofokus-System die Fokusbedingungen während der Belichtung optimiert. PAS 5500/ 400B ist speziell für hohe Präzision und tiefen Fokus für hochkomplexe integrierte Schaltungsmuster konzipiert. Es ist die ideale Wahl für die Herstellung von VLSI- und Speicherchips sowie biomedizinischen Substraten. Darüber hinaus ist es ideal für Flip-Chip-Anwendungen und eignet sich auch für maskenlose Feinlinienmuster. Die Maschine bietet maximale Genauigkeit und Wiederholbarkeit und gewährleistet eine präzise Strukturierung über mehrere Waferläufe hinweg. Seine kompakte Bauweise minimiert zudem Vibrationen und ermöglicht gleichzeitig hohe Durchsatzraten. Peripheriesteuerungen für Vektordateneingabe und Overlay-Kalibrierung ermöglichen einen flexiblen Betrieb während der Verarbeitung. Abschließend ist ASML PAS 5500/ 400B ein robuster und zuverlässiger Wafer-Stepper, der eine hervorragende Leistung für eine hochgenaue Strukturierung integrierter Schaltungen bietet. Die hohe Präzisionsscannung, die überlegene Mustereinheitlichkeit und der flexible Betrieb machen es zur idealen Wahl für hochpräzise lithographische Produktionsprozesse.
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