Gebraucht ASML PAS 5500 / 400C #293655011 zu verkaufen

ASML PAS 5500/ 400C ist ein von ASML (Applied Scanning Technologies) entwickelter Wafer-Stepper für die Halbleiterindustrie. ASML PAS 5500/400 C ist ein Schritt-und Wiederholungs-Lithographie-Tool für die Herstellung von mehrschichtigen integrierten Schaltungen mit tiefen Ultraviolettbeleuchter entwickelt. Die FPA-Technologie (Focal Plane Array) bietet eine hohe Bildqualität und hohe Durchsatzrate. Die Maschine ist in der Lage, bei einer Domänengröße von 65 nm x 65 nm bis zu 1.2M Gläser/min zu scannen und dabei eine hohe Auflösung zu erhalten. PAS 5500/ 400C Geräte werden mit einem eingebauten Scankopf und Beleuchter sowie einem Proximity Correction System (PCS) geliefert, das eine hochpräzise Waferausrichtung und rückverfolgbare Steuerung bietet. Der eingebaute Beleuchter verwendet Laserdiode gepumpte Argon Fluorid (ArF) Lasertechnologie für 13,4 nm Wellenlängenbelichtung. Es verfügt über eine effiziente Multi-Blanking-Quelle für hohe Gleichmäßigkeit und maximale Helligkeit. PAS 5500/400 C verwendet eine einzigartige Hybrid-Astigmatismus-Untereinheit, um Verzerrungen zu reduzieren und eine „Peak Precision Calibration“ zu ermöglichen. Dies reduziert die Prozessorzeit und verbessert die Genauigkeit der gescannten Bilder. ASML PAS 5500/ 400C bietet auch konkurrenzfähige Belichtungszeit und hohe Auflösung durch den gleichzeitigen Einsatz mehrerer Komponenten, wie „Dual-Pass“ - und „Double-ArF“ -Belichtungstechnologien. ASML PAS 5500/400 C Maschine hat auch eine erweiterte Metrologie-Fähigkeit mit einer hochauflösenden 3D-Mapping-Option. Es hat die Fähigkeit, Merkmale wie Musterplatzierung Genauigkeit, Overlay-Genauigkeit und Wafer-Overlay-Registrierung über seine gesamte Palette von Wafer-Größen zu messen. Das Tool wird mit einer Standardbibliothek von Prozessrezepten geliefert. PAS 5500/ 400C ist ein vielseitiger und effizienter Wafer-Stepper, der für die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie geeignet ist. Es bietet hohe Bildqualität, Produktivität und Auflösung sowie messtechnische Fähigkeit, so dass es ideal für die Integration in 24/7-Serienproduktion. Es hat ein hervorragendes Kosten-Leistungs-Verhältnis und eine bewährte Zuverlässigkeit und eine lange Lebensdauer. PAS 5500/400 C Wafer Stepper ist die perfekte Fertigungslösung für eine breite Palette von Produkten.