Gebraucht ASML PAS 5500 / 400D #293829889 zu verkaufen

ASML PAS 5500 / 400D
Hersteller
ASML
Modell
PAS 5500 / 400D
ID: 293829889
DUV Scanner Standalone, 365 nm.
ASML PAS 5500/ 400D ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der die Herstellung elektronischer Komponenten revolutioniert hat. Das Gerät verfügt über ein hochentwickeltes Lithographiewerkzeug, das ein ultraviolettes Belichtungsmuster mit einer Auflösung von bis zu 0,25 Mikrometern präzise auf eine Waferoberfläche projiziert. Der Wafer-Stepper basiert auf einer Nano-Polygon-Array-Scanner (Nopol) -Plattform, die Zugriff auf Hochgeschwindigkeitsausrichtungs-, Streu- und Bildgebungsfunktionen bietet und gleichzeitig jeglichen Overhead minimiert, der mit der zugrunde liegenden Lithographieplattform verbunden ist. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Belichtungsstufen zu handhaben und bietet ein hochgenaues Sichtfeld für große Wafergrößen. Das System ist für hohen Durchsatz ausgelegt und verfügt über eine digitale Ausrichteinheit mit automatischer Musterpositionierung, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Es ermöglicht auch die Verwendung eines breiten Spektrums von photolithographischen Arbeitsflüssigkeiten, wie Photoresists, Lösungsmitteln und Chemikalien, um hohe Prozessausbeuten zu erzielen. Des weiteren enthält das Werkzeug einen Rekombinationsmodulator, der die Frequenz und den Fehlerbereich reduziert. Es verfügt auch über eine Regelmaschine, die sich bemüht, Parameter wie Dosis, Fokus und Schusswerte automatisch anzupassen, um eine gleichmäßige Belichtung über die Waferoberfläche zu gewährleisten. Schließlich implementiert ASML PAS 5500/400D eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der Bediener ihre Einstellungen einfach anpassen und den Fortschritt ihrer Prozesse in Echtzeit überwachen können. Die erzeugten Daten können leicht in eine Vielzahl von Formaten exportiert werden, so dass Benutzer die Leistung ihrer Prozesse überwachen und gefundene Fehler leichter analysieren können. Auf diese Weise können Operatoren Parameter überprüfen, die Einstellungen anpassen und bei Bedarf schnell auf Änderungen reagieren. Insgesamt ist PAS 5500/400 D ein leistungsfähiger und zuverlässiger Wafer-Stepper, der es ermöglicht, elektronische Komponenten mit beispielloser Geschwindigkeit und Genauigkeit präzise zu fertigen. Dies macht es zu einem idealen Werkzeug für die Herstellung zuverlässiger und leistungsstarker elektronischer Komponenten, die in einer Reihe von Anwendungen verwendet werden können.
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