Gebraucht ASML PAS 5500 / 400D #9296950 zu verkaufen

ASML PAS 5500/ 400D ist ein hochtechnologischer Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um in extrem hoher Volumen und hoher Durchsatz Halbleiterchip-Produktion zu arbeiten. Dieser Stepper, Teil der PAS-Produktfamilie, ist eine hochmoderne Lithographie-Ausrüstung mit fortschrittlichen Technologien wie den neuesten ASML-entworfenen PAS5m-Scannern, einer 180-nm-Auflösung und einer großen 7-nm-Tiefe. Das System wurde entwickelt, um höchste Leistung bei einer maximalen Scangeschwindigkeit von 15.000 Wafern pro Stunde mit einer Scanrate von 70nm pro Sekunde zu gewährleisten. Dies maximiert den Durchsatz und kann die Kosten pro Werkzeug senken. Mit den minimalen Ausgasungsfähigkeiten des Geräts bietet es einen sauberen, präzisen Prozess mit minimaler Fehlererzeugung. Es ist ideal für die Herstellung von großen Logik-Chips, Embedded-Schaltungen und Machine-on-Chips. Die In-Linewidth-Fähigkeit ist hervorragend und bietet hervorragende funktionelle Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. Es hat auch erweiterte Oberflächenmesstechnik und anspruchsvolle Messfunktionen integriert, die eine genaue Musterregistrierung und überlegene Overlay-Ergebnisse ermöglichen. Das Modell weist zwei optische Abtaststufen auf, die jeweils von einem Paar Linearmotoren angetrieben werden, die so konstruiert und betrieben werden, dass sie kritische Strukturen mit wiederholbarer Genauigkeit herstellen. Im Tool sind auch mehrere erweiterte Ausrichtungs- und Prozesskontrollpakete enthalten. Dies ermöglicht eine kurze Taktzeit und maximale Präzision. ASML PAS- 5500/400D können durch eine Vielzahl von Optionen zur Modellanpassung auf viele Kundenbedürfnisse zugeschnitten werden. Dies beinhaltet verschiedene Optionen für Objektivlinsen, Trocken-/Nassreinigungsvorgänge und Stufengenauigkeit. Um die Aufstellung abzuschließen, ist das Modell sowohl für EUV als auch für herkömmliche ArF-Lichtquellen optimiert. PAS 5500/400 D ist ein beeindruckend fortschrittlicher Stepper, der für die Produktion von hochvolumigen und präzise Chips entwickelt wurde. Es erfüllt oder übertrifft die Erwartungen von Halbleiterherstellern, die in einer zuverlässigen Mikroelektronik-Produktionsmodalität überlegene Leistung und außergewöhnliche Wiederholbarkeit benötigen.