Gebraucht ASML PAS 5500 / 500 #293814112 zu verkaufen

ASML PAS 5500/500 ist ein fortschrittliches Wafer-Schrittwerkzeug zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist in der Lage, hochpräzise Mikrostrukturen für eine Vielzahl von Halbleiterbauelementen herzustellen. Diese Maschine verwendet eine Ausrichtungs- und Abbildungseinrichtung, um ein ultraviolettes Lichtmuster auf einem Halbleiterwafer zu belichten. Es verfügt über ein variables Symmetriesystem (VSS), eine leistungsstarke Beleuchtungseinheit, die die Flexibilität bietet, Faktoren wie die Form des projizierten Bildes, die Größe des Sichtfeldes und die Art der Fotomaske anzupassen. Das Werkzeug verfügt über vier optische Systeme, die jeweils mehrere Linsen und eine separate Ausrichtmaschine enthalten. Jedes Werkzeug kann unabhängig voneinander angepasst werden, um eine stabile und wiederholbare Ausrichtungsgenauigkeit unter verschiedenen Bedingungen zu gewährleisten. Das Asset verfügt außerdem über eine verzerrungsarme Projektionslinse, um einen genauen und konsistenten lithografischen Prozess zu gewährleisten. PAS 5500/500 enthält auch ein fortschrittliches Scanmodell, das eine hochauflösende Bildgebung für eine Vielzahl von Layoutformen gewährleistet, einschließlich überdimensionaler Felder, Teilfelder und kleiner Geometrien. Es verwendet auch wiederholbare Bewegung des Schrittes, um mehrere Sichtfelder genau zu verfolgen. Darüber hinaus ist ASML PAS 5500/500 mit einer zuverlässigen Vakuumspanntechnik ausgestattet, die Waferverzerrungen während des Belichtungsprozesses verhindert. Das Tool enthält auch eine integrierte OCR-Ausleseausrüstung, die ein einfaches Lesen mehrerer Barcodes jedes Wafers ermöglicht, um eine schnelle, automatisierte Verarbeitung zu gewährleisten. Abschließend ist PAS 5500/500 ein leistungsstarkes und hochgenaues Waferstepper-Werkzeug, das den Anforderungen moderner Halbleiterherstellung gerecht wird. Die fortschrittlichen, hochauflösenden optischen und abtastenden Systeme ermöglichen eine präzise und wiederholbare lithographische Herstellung feiner Merkmale und eine präzise, zuverlässige Waferspannung während des gesamten Prozesses.