Gebraucht ASML PAS 5500 / 500 #293817858 zu verkaufen
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ID: 293817858
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.4-0.63
Resolution: 220 nm
DCO: 45
Throughput (WPH): 96.
ASML PAS 5500/500 ist ein Wafer-Stepper von ASML, einem führenden Hersteller von Halbleiterlithographieanlagen und -systemen. Es wird verwendet, um dünne und präzise Schichten von Schaltungen für den Einsatz bei der Herstellung von integrierten Schaltungen zu schaffen. PAS 5500/500 ist ein entscheidender Baustein bei der Entwicklung von fortschrittlichen Halbleitertechnologien der nächsten Generation, da es die höchste Auflösung eines Steppers auf dem Markt hat. ASML PAS 5500/500 ist ein Werkzeug zur Integration optischer Komponenten mit einer Röntgenausrichtungslaserausrüstung. Damit erreicht die Maschine eine Obergrenze von 0,25 μ m Auflösung und eine gleichmäßige Strukturierung auf der Waferoberfläche. Das In-situ-Überwachungssystem erzeugt eine äußerst genaue Positionierung der Schrittkomponenten. Der Stepper verfügt auch über die neuesten Technologien in der optischen Bildgebung, mit hochauflösenden, Multilevel-Lithographie-Fähigkeiten. Der PAS 5500/500 ist mit einer hochpräzisen Planetenstufe und einem leistungsstarken zweidimensionalen Motor ausgestattet. Dies ermöglicht eine präzise optimierte Belichtungszeit und genaue Masken- und Waferausrichtung. Der Stepper verwendet auch die neueste Bildschärfeinheit und kann eine Vielzahl von Belichtungsaufgaben bewältigen. ASML PAS 5500/500 ist ein äußerst zuverlässiges und robustes Maschinenstück mit einer Lebensdauer von bis zu einem Jahrzehnt. Es verfügt über einen elektronisch gesteuerten elektromechanischen Tauchmechanismus, der Schwingungen im Betrieb reduziert und keine Schmierung erfordert. In Bezug auf die Sicherheit hat PAS 5500/500 eine sichere Nothaltemaschine und einen umfassenden Umweltschutz, um eine strenge Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle zu gewährleisten. Es ist auch entworfen, um einen effizienten Betrieb sowohl der Stepper und zugehörige Komponenten zu ermöglichen, und effizienter Betrieb reduziert sowohl das Risiko von möglichen Schäden und Reinraumverschmutzung. Insgesamt ist ASML PAS 5500/500 ein hochwirksamer und zuverlässiger Lithographiestepper. Es bietet die höchste Auflösung auf dem Markt mit In-situ-Überwachungs- und Image-Sharpen-Technologien sowie einer effektiv optimierten Belichtungszeit. Es ist sicher, robust und höchst zuverlässig, mit einem elektromechanischen Tauchmechanismus, der Vibrationen reduziert und ein Not-Aus-Werkzeug. PAS 5500/500 ist eine Schlüsselkomponente bei der Erzeugung dünner und präziser Schaltungsschichten für den Einsatz in der fortschrittlichen Halbleiterindustrie.
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