Gebraucht ASML PAS 5500 / 60 #293817857 zu verkaufen

ASML PAS 5500/60 ist ein fortschrittliches Lithographiewerkzeug zur Herstellung von Halbleiterscheiben. Es ist eine Immersions-Lithographieeinrichtung, die den höheren Brechungsindex von Wasser im Vergleich zu Luft nutzt, um eine erhöhte Auflösung bei demselben numerischen Aperturstrahl zu ermöglichen. Das System ASML PAS 5500/60 verfügt über eine anspruchsvolle integrierte Staging- und Steuereinheit, die die Genauigkeit und den Durchsatz erhöht und eine zuverlässige und effektive hochpräzise Lithographie in der Halbleiterindustrie ermöglicht. PAS 5500/60 ist in der Lage, Wafer mit Auflösungen von 0,35 Mikron für einen 70nm-Technologieknoten und 0,5 Mikron für einen 90nm-Knoten zu produzieren. PAS 5500/60 umfasst eine Laserlichtquelle mit variabler Leistung, die eine Vielzahl von Intensitäten und Wellenlängen (359nm - 451nm) ermöglicht, um eine Vielzahl von Materialien zu berücksichtigen, die in Halbleiterprozessen verwendet werden. Das Licht wird als Teil des „Pixel“ -Merkmalsmusters auf eine kleinere Punktgröße (< 1 μ m) auf die Oberfläche des Wafers fokussiert. Die Maschine unterstützt sowohl ringförmige als auch außerachsige Beleuchtungstypen, so dass sie zur Herstellung einer Auswahl an Array-Architekturen verwendet werden kann. Der ASML PAS 5500/60 Wafer-Stepper verfügt zudem über einen integrierten digitalen Controller, der das Wafer-Futter präzise ansteuert und eine hochgenaue und wiederholbare Positionierung für jede Belichtung ermöglicht. Das Spannfutter ist für die gleichzeitige Unterstützung von bis zu vier Platten ausgelegt, so dass mehrschichtige Felder mit einer einzigen Bewegung belichtet werden können. Die Sekundärstufe belichtet den Rest des Feldes schnell präzise und kontrolliert. Das Tool verfügt auch über automatische Ausrichtungen, die eine präzise und lesbare Ausrichtung zwischen mehreren Ebenen mit Hilfe einer CCD-Kamera ermöglichen. Das Steuerwerkzeug ermöglicht eine präzise Steuerung von Belichtungen und anderen Einstellungen sowie die Abspannung von Verschiebungen für genaue Messungen der Feldgröße und Positionierung. Verschiedene Software unterstützt das Asset, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Emulatoren, Autofokus-Software und Geräuschreduzierungssoftware. Darüber hinaus bietet ASML eine Vielzahl von Dienstleistungen im Zusammenhang mit ASML PAS 5500/60. Dazu gehören vorbeugende Wartungsintervalle, Echtzeitüberwachung und -diagnose, Remote Support und Assessment Services, Kalibrierservices, Modell-Upgrades und Software-Erweiterungen sowie eingehende Schulungen. PAS 5500/60 ist ein fortschrittliches Lithographiewerkzeug, das in der Lage ist, Wafer mit Auflösungen von bis zu 0,35 Mikrometern zu produzieren. Es ist mit einem digitalen Controller ausgestattet, der das Wafer-Spannfutter präzise antreibt und eine präzise und wiederholbare Positionierung für jede Belichtung ermöglicht. Es ist auch mit einer Laserlichtquelle mit variabler Leistung ausgestattet, die mehrere Beleuchtungstypen unterstützt, eine integrierte Ausrichtausrüstung und verschiedene Softwareunterstützungen. Diese Kombination von Funktionen und Dienstleistungen macht PAS 5500/60 zu einem idealen Werkzeug für die Halbleiterproduktion.