Gebraucht ASML PAS 5500 / 60B #293817855 zu verkaufen

ASML PAS 5500 / 60B
Hersteller
ASML
Modell
PAS 5500 / 60B
ID: 293817855
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.54 Resolution: 450 nm DCO:  70 Throughput (WPH): 48.
ASML PAS 5500/ 60B ist eine optische bildgebende Lithographieausrüstung, die bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet wird. Diese Maschine ist ein Wafer-Stepper, eine Art optisches Abbildungsgerät, das bei der Herstellung von mikroelektronischen Geräten verwendet wird. PAS 5500/ 60B ist ein modernes Werkzeug, das elektrooptische Masken aufnehmen und auf bewegte Siliziumwafer übertragen kann. ASML PAS 5500/ 60B verfügt über fortschrittliche Lithographie, hochpräzise Ausrichtung und extrem schnelle Scanfunktionen für die Herstellung von Chip-Designs mit hoher Ausbeute. Der Wafer-Stepper verfügt über eine leistungsstarke, scanbereite Retikelstufe mit automatischer Erkennung und zweidimensionaler Darstellung des Retikels. Es verfügt außerdem über ein hochgenaues Ausrichtsystem, das eine hochgenaue Bildregistrierung ermöglicht, und eine Autofokuseinheit, die sicherstellt, dass die Optik während des Bildgebungsprozesses richtig fokussiert bleibt. PAS 5500/ 60B ist in der Lage, Chip-Designs mit einer Funktionsgröße von bis zu 0,2 Mikrometer zu produzieren. Es weist auch eine hohe Prozesswiederholbarkeit auf, die die Herstellung von Chips mit nahezu identischen Eigenschaften ermöglicht. Die Maschine hat auch eine, Hochleistungsplatzenweisenscan-Maschine, die sicherstellt, dass Chipbilder schnell und genau geschaffen werden können. ASML PAS 5500/ 60B verfügt über eine breite Palette von Eingangs- und Ausgangsparametern und kann an eine Vielzahl von Geräten zur Verbindung mit anderen bildgebenden Systemen angeschlossen werden, z.B. einem Wafer Critical Dimension (CD) -Messgerät. Das Werkzeug hat auch eine zweischichtige Overlay-Funktion, die die Herstellung von doppelseitigen Schaltungen ermöglicht, ohne eine doppelseitige Maskierung verwenden zu müssen. Obwohl es sich um eine relativ kleine Maschine handelt, verfügt PAS 5500/ 60B nach wie vor über alle fortschrittlichen Funktionen, die für die Herstellung hochwertiger Chipkonstruktionen erforderlich sind. Es ist ein zuverlässiges und kostengünstiges Werkzeug für die Herstellung komplexer integrierter Schaltungen und somit eine attraktive Wahl für die Herstellung von Halbleiterchips.
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