Gebraucht ASML PAS 5500 / 700 #293816709 zu verkaufen

ASML PAS 5500/700 Serie Wafer Stepper ist eine automatisierte Maschine für die präzise lithographische Abbildung auf Silizium-Wafern in der heutigen Halbleiterindustrie verwendet. Es verwendet optische Lithographieverfahren, um Muster auf den Wafern zu belichten, um Mikroschaltungen zu schaffen, die für die Herstellung von integrierten Schaltungen, Siliziumchips und anderen Halbleitern erforderlich sind. Eines der Hauptmerkmale dieses Steppers ist seine hohe numerische Blende und Belichtungsflexibilität. Seine NA oder numerische Apertur von 0,7 ermöglicht eine hochauflösende Bildgebung und feinere Strukturierung. Dies wird durch die Verwendung eines kombinierten Beleuchtungs- und Spiegelgerätes erreicht, eine Kombination, die die Verwendung verschiedener optischer Linsen zur Fokussierung und Vergrößerung der Belichtungsmuster ermöglicht. Es verfügt außerdem über ein Belichtungsfeld, das auf Größen von 4, 5, 6 und 8 Zoll angepasst werden kann. Dieser Wafer-Stepper ist mit zwei Objektivlinsen ausgestattet - einer abgeschwächten phasenverschiebenden Maskenlinse und einer zusammengesetzten Objektivlinse mit einem Dual-Zone-Beleuchtungssystem. Die abgeschwächte phasenverschiebende Maskenlinse verwendet ultraviolettes Licht, um Muster auf Waferoberflächen herzustellen, während die zusammengesetzte Objektivlinse mit Dual-Zone-Beleuchtungseinheit diese Muster verstärkt, während die Aberration gesteuert wird. Diese Anordnung ermöglicht dem Stepper eine verbesserte Leistung in Bezug auf Mustertreue und Bildtiefe. Neben seiner bildgebenden Leistung verfügt der Wafer-Stepper der PAS 5500/700-Serie auch über eine fortschrittliche mehrachsige Bewegungssteuerung und Tuning-Maschine. Dieses Werkzeug besteht aus einem Controller, Encodern und Motorantrieben, die es dem Schrittmotor ermöglichen, präzise Spurbewegungen und Positionierungen zu liefern. Der Stepper verfügt über eine XY-Stufe für Waferbewegung und genaue Positionierung und erweiterte Schwingspulensensoren für feines inkrementelles Fokussieren. In Bezug auf Sicherheit und Zuverlässigkeit ist dieser Wafer-Stepper mit mehreren Funktionen wie einem TEMIR-Strahlstopp und einem Schlauchstopp-Sicherheits-Asset, Lüfterschutzeinrichtungen, Brandschutzsystemen, Temperatursensoren, Türmagneten und anderen Sicherheitseinrichtungen ausgestattet. Schließlich ist der Stepper CE-zertifiziert und erfüllt alle Sicherheitsvorschriften hinsichtlich Design, Leistung und Industriebetrieb. Insgesamt bietet der Wafer-Stepper der ASML PAS 5500/700-Serie eine optimale lithographische Bildgebungsleistung, die für die anspruchsvollsten Halbleiterprozesse geeignet ist. Die hohe numerische Apertur, die Flexibilität der Belichtung und das fortschrittliche Bewegungssteuerungsmodell sowie seine Sicherheits- und Zuverlässigkeitsmerkmale machen es zu einer idealen Wahl für Hersteller von integrierten Schaltungen, Siliziumchips und anderen Halbleitern.