Gebraucht ASML PAS 5500 / 750 #293812077 zu verkaufen

ASML PAS 5500 / 750 ist ein für die Halbleiteroblatenverarbeitung entworfenes 5-Megapixel-Scan-Werkzeug des Elektronbalkensteindruckverfahrens (EBL). Es ist in der Lage, verschiedene Chipgeometrien mit Auflösungen von bis zu 0,3 Mikron bei Abtastgeschwindigkeiten von bis zu 50 Nanometern pro Sekunde zu belichten. Die primäre Funktion des Lithographiewerkzeugs besteht darin, komplizierte Sub-Mikrometer-Muster auf der Oberfläche eines Wafers zu erzeugen, wodurch dichter gepackte, leistungsstärkere integrierte Schaltungen hergestellt werden können. Dazu wird der Wafer auf einer XY-Stufe montiert und durchläuft den Strahl, der von vier linearen Stufen abstammt. Der Elektronenstrahl wird von der Magnetanordnung, die aus einem bipolaren Netzteil, zwei unabhängigen Koaxialspulen und zwei unterschiedlichen Sätzen von Ablenkspulen besteht, abgelenkt. Die Stromversorgung erzeugt den Elektronenstrahl, während die Spulen die Größe, Form und Bewegung des Strahls steuern. Es ist in der Lage, sehr feine, komplizierte Merkmale zu produzieren, die in der Lage sind, den modernen Bedarf an Halbleiterprozessen zu befriedigen. Die Elektronik Produktionsumgebung ist sehr sauber, um die Chance auf Kontamination zu reduzieren. Das Werkzeug wird in eine Vakuumkammer eingesetzt, die eine staubfreie Umgebung, gasförmige Verunreinigungen und Partikel liefert. Das Lithographiesystem wird auch mit einem hohen Maß an Technik geliefert, um seine Temperatur und Feuchtigkeit zu kontrollieren. PAS 5500/750 ist die perfekte Wahl für alle, die eine zuverlässige und präzise EBL-Lösung suchen. Es ist hocheffizient und einfach mit intuitiver Software zu bedienen, die den Bedienungsprozess einfach macht. Seine hohe Genauigkeit stellt sicher, dass die Endergebnisse von höchster Qualität und Spezifikation sind. Das Tool verfügt über viele benutzerfreundliche Funktionen wie einen grafischen Job-Editor zur Vereinfachung des Wafer-Belichtungsprozesses, eine einheitliche Strahl-Scan-Funktion, die ungleichmäßige Scaneffekte eliminiert, und eine funktionsreiche Benutzeroberfläche. Es kommt auch mit einer Reihe von Sicherheitsfunktionen, um das Risiko einer versehentlichen Kontamination des Wafers zu minimieren. Dies ist ein wesentliches Werkzeug für die Halbleiterindustrie und bietet eine zuverlässige und kostengünstige Möglichkeit, komplizierte Muster auf der Oberfläche eines Wafers zu erzeugen. Es ist eine gute Wahl für alle, die nach einer präziseren Lithographielösung suchen.