Gebraucht ASML PAS 5500 / 750D #293811828 zu verkaufen
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ID: 293811828
Wafergröße: 8'
Deep Ultraviolet (DUV) scanner, 8"
CYMER ELS 6600 Laser
Wafer transfer system
Operator console unit
CIM: SECS
SMIF
Illumination intensity: up to ~2954 (exceeding the standard ~2400 specification in conventional mode)
Overlay performance: approximately 50 nm (e.g., GM Tx ~0.0512 µm)
Dose repeatability: approximately 0.11%, below the ≤0.7% specification threshold
2002 vintage.
ASML PAS 5500/ 750D ist eine anspruchsvolle Wafer-Schrittmaschine für die Herstellung von hochvolumigen Halbleitern. Diese fortschrittliche Technologie ist entscheidend für die Herstellung integrierter Schaltungen, die eine präzise Strukturierung von Halbleiterscheiben mit Mikron-Genauigkeit ermöglichen. PAS 5500/ 750D ist bekannt für seine hervorragende Leistung, Zuverlässigkeit und Flexibilität und ist damit eine beliebte Wahl für führende Halbleiterunternehmen weltweit. Herzstück des ASML PAS 5500/ 750D ist seine hochmoderne Projektionslinsenausstattung. Dieses Linsensystem spielt eine entscheidende Rolle bei der Gestaltung und Fokussierung des Lichtes, mit dem der Photolack auf der Halbleiterscheibe belichtet wird. Mit einer hohen numerischen Apertur und einem großen Sichtfeld ermöglicht die Projektionslinseneinheit des PAS 5500/ 750D eine hohe Auflösung und Gleichmäßigkeit über die gesamte Waferoberfläche. ASML PAS 5500/ 750D verfügt über eine dynamische Ausrichtmaschine, die eine präzise Überlagerung zwischen verschiedenen Schichten des Halbleiterbauelements gewährleistet. Dieses Ausrichtungstool verwendet fortschrittliche Sensoren und Algorithmen, um Abweichungen in Waferposition, Rotation und Skalierung während des Belichtungsprozesses zu überwachen und zu korrigieren. Durch die Beibehaltung einer engen Overlay-Steuerung ermöglicht PAS 5500/ 750D die Herstellung komplexer Mehrschichtgeräte mit Submikron-Ausrichtungsgenauigkeit. Eine der Hauptstärken des ASML PAS 5500/ 750D ist seine Flexibilität und Skalierbarkeit. Diese Wafer-Schrittmaschine kann mit verschiedenen Projektionsoptiken, Beleuchtungsquellen und Bühnenoptionen konfiguriert werden, um spezifische Kundenanforderungen zu erfüllen. Ob Logikbauelemente, Speicherchips oder Bildsensoren, PAS 5500/ 750D kann auf eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen zugeschnitten werden. ASML PAS 5500/ 750D enthält fortschrittliche Software-Algorithmen zur Optimierung von Belichtungsparametern und zur Überwachung der Asset-Performance in Echtzeit. Diese Softwaresteuerungen ermöglichen es Anwendern, optimale Prozessergebnisse zu erzielen, Ausfallzeiten zu minimieren und den Ertrag in der Halbleiterproduktion zu maximieren. Darüber hinaus ist PAS 5500/ 750D mit fortschrittlichen bildgebenden und messtechnischen Werkzeugen zur Charakterisierung kritischer Abmessungen und Muster auf dem Wafer ausgestattet. In Bezug auf den Durchfluss bietet ASML PAS 5500 / 750D Hochleistungsaussetzungsfähigkeiten an, Großserie Produktionsoperationen zu unterstützen. Mit fortschrittlichen Steuerungs- und Wafer-Handhabungssystemen kann diese Wafer-Schrittmaschine schnelle Zykluszeiten erzielen und gleichzeitig eine enge Prozesskontrolle aufrechterhalten. Diese Kombination aus Geschwindigkeit und Präzision macht PAS 5500/ 750D zu einer idealen Lösung für die Massenproduktion von Halbleiterbauelementen. Insgesamt stellt ASML PAS 5500/ 750D eine Spitze der Wafer-Stepper-Technologie dar, die modernste Optik, Ausrichtungssysteme, Softwaresteuerungen und Durchsatzfunktionen kombiniert. Mit seiner bewährten Erfolgsbilanz in der Halbleiterindustrie setzt PAS 5500/ 750D weiterhin den Standard für Wafer-Lithographiesysteme und ermöglicht es Halbleiterherstellern, die Grenzen der Geräte-Miniaturisierung und -Leistung zu erweitern.
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