Gebraucht ASML PAS 5500 / 750F #293822111 zu verkaufen

ASML PAS 5500/ 750F ist ein Wafer-Stepper, auch als Stepper bekannt, der im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Es handelt sich um eine Präzisionslithographieeinrichtung, mit der ein auf einer Photomaske spezifiziertes Muster auf die Oberfläche eines Halbleiterwafers übertragen wird. Es kann mit Wafergrößen von 2 bis 8 Zoll (50 bis 200 mm) und mit Größen von bis zu 0,35 μ m umgehen. PAS 5500/ 750F erzielt mit seinem optischen System Bilder von hoher Qualität, so dass kleine Strukturen sehr detailliert und präzise gemustert werden können. ASML PAS 5500/ 750F verfügt über eine Mini-Aligner-Kammer, mit der die Photomaske vor jeder Belichtung genau auf den Wafer ausgerichtet wird. Die Kammer ermöglicht eine feine Ausrichtung, was eine hohe Belichtungsgenauigkeit gewährleistet. Im Inneren der Einheit befindet sich eine fortschrittliche optische Ausrichtungsmaschine, die eine automatische, schnelle und genaue Ausrichtung der Masken- und Waferkomponenten ermöglicht. Das optische Werkzeug in PAS 5500/ 750F liefert scharfe, hochauflösende Bilder, so dass Wafer nach der gewünschten Spezifikation gemustert werden können. Ein Inertgas wird verwendet, um den Wafer vor Beschädigung und Kontamination während der Bildgebung zu schützen. ASML PAS 5500/ 750F verfügt auch über eine fortschrittliche Beleuchtungskapazität, die eine überlegene optische Gleichmäßigkeit bietet, wobei Gleichmäßigkeit und Durchsatz die von konkurrierenden Systemen übersteigen. Das Modell enthält auch eine erweiterte Scan-Steuereinheit, die eine präzise Kontrolle von Mustern während des Scanvorgangs ermöglicht. Die Scan-Steuerung stellt sicher, dass die Muster auf dem Wafer in Zeit und Raum genau repliziert werden. PAS 5500/ 750F verwendet eine hochpräzise Galvanometer-Ausrüstung, um die höchstmögliche Scangenauigkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht die automatisierte Belichtungsfunktion die einfache Programmierung und Steuerung der Positionierungs-, Belichtungs- und Reset-Parameter. ASML PAS 5500/ 750F ist mit einer ausgeklügelten Prozesskontrolle ausgestattet, um sicherzustellen, dass Muster auf dem Wafer korrekt hergestellt werden. Es bietet auch Funktionen zur Analyse von Daten nach der Exposition zum Verstehen von Mustertreue und Waferform. Darüber hinaus bietet das System eine breite Palette von Optionen zur weiteren Optimierung des Produktionsprozesses, wie Lithographie-Overlay, Reticle-Focus-Steuerung und mehrfache Reticle-automatische Erkennung. Insgesamt ist PAS 5500/ 750F ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der überlegene Mustergenauigkeit und Prozesskontrolle bietet. Es wurde entwickelt, um die Bildqualität für große und kleine Strukturen zu maximieren und gleichzeitig die höchste Prozesskontrolle und den Durchsatz zu gewährleisten. Die automatisierte Prozesssteuerung und Datenanalyse machen es zu einer idealen Lösung für Halbleiterherstellungsprozesse.