Gebraucht ASML PAS 5500 / 80 #9188719 zu verkaufen

ASML PAS 5500 / 80
Hersteller
ASML
Modell
PAS 5500 / 80
ID: 9188719
Weinlese: 2003
i-Line stepper 2003 vintage.
ASML PAS 5500/80 Fokus Montage Stepper ist ein fortschrittlicher Wafer Stepper für Halbleiterherstellung, die Hersteller verbesserte Funktion Größenauflösung und Genauigkeit bietet. Es ist eine, Hochleistungshogenauigkeitsoblatenverarbeitungseinheit, die mit verschiedenen Bildaufbereitungselementen wie Oblaten, Masken und Substrate vereinbar ist. Dieser Wafer-Stepper, der häufig in der Herstellung und Entwicklung integrierter Schaltungen zu finden ist, nutzt hochauflösende Projektionslithographie, um Bilder auf Silizium-Wafern mit hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit zu erhalten. Der Stepper verwendet eine ausgeklügelte Luftlagerausrüstung mit ausgeklügelter Computersteuerung, die es ermöglicht, das gewünschte Muster schnell und präzise auf den Wafer zu scannen. Das Gerät wird von einem kleinen wartungsfreien Motor angetrieben und ein Kühlventilator sorgt während der Prozesse für Kühlluft über den Wafer. Das Gerät ist mit einer fein abgestimmten Lichtquelle und einem hochauflösenden Projektionssystem mit einer fünfachsigen Stufe ausgestattet. Es verwendet fortschrittliche Sensortechnologie, um die Position des Wafers genau zu messen und seine Position in alle drei Richtungen zu überwachen. Der Stepper kann auch mit OPC-Mustern verwendet werden, um kleinere Funktionen und eine engere Kontrolle für Präzisionsfunktionsgrößen zu erreichen. Weitere Merkmale sind ein automatischer Endanschlag und eine integrierte elektrische Trenneinheit sowie eine gepulste Flüssigkristallanzeige für eine einfache Bedienung. ASML PAS 5500/80 ist in der Lage, Wafer von bis zu vierundzwanzig Zoll Durchmesser zu verarbeiten und kann Objekte bis zu 20 Kilogramm schwer handhaben. Es verfügt über eine beeindruckende maximale Scangeschwindigkeit von bis zu 7500 Schritten pro Sekunde und eine minimale Größenauflösung von 0,5 Mikrometern, was komplizierte, minutengenaue Details auf der bearbeiteten Oberfläche ermöglicht. Der Stepper wurde entwickelt, um Partikelverunreinigungen zu minimieren und bietet eine vollständige Reinraumverträglichkeit. Die aktive Vibrationskontrolle in Verbindung mit effizienten elektrischen Architekturen verbessert auch die Fähigkeiten des Geräts. Es wurde entwickelt, um den Stromverbrauch zu minimieren und gleichzeitig eine konsistente, zuverlässige Leistung über längere Zyklen zu bieten. PAS5500/80 ist ein extrem leistungsfähiger Wafer-Stepper, der den Herstellern das Werkzeug und die Fähigkeit bietet, hochpräzise Teile mit höchster Genauigkeit zu fertigen. Sein geringes Gewicht, seine kompakte Größe und sein effizientes Design sind in einem industriellen Umfeld von Vorteil. Die Maschine wurde entwickelt, um eine qualitativ hochwertige Produktion mit minimalen Maschinenstillstandszeiten zu ermöglichen, was zu einem kostengünstigen und zuverlässigen Halbleiterproduktionsprozess führt.
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