Gebraucht ASML PAS 5500 / 80 #9194835 zu verkaufen

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ASML PAS 5500 / 80
Verkauft
Hersteller
ASML
Modell
PAS 5500 / 80
ID: 9194835
i-Line stepper Parts system Missing parts.
ASML PAS 5500/80 Wafer Stepper ist ein modernes Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterprodukten. Es ist ideal für kleine bis mittlere Projekte und führt sowohl optische Düsensteppings als auch Fotobelichtungsprozesse exakt durch, um extrem enge Produktionsanforderungen zu erfüllen. Das Gerät nutzt eine hochintegrierte und kompakte Bauweise mit einem Dual-Field-Optiksystem. Dies ermöglicht die Abbildung dynamischer Düsenebenen, ohne den Wafer bewegen zu müssen, was zu einer schnelleren Produktivität und verbesserten Ergebnissen führt. Der ASML PAS 5500/80 Wafer Stepper ist mit einer hochmodernen Resist- und Verschmutzungsmanagementeinheit ausgestattet, um einen hochgenauen, stabilen Betrieb zu gewährleisten. Die Maschine bietet eine große Auswahl an Schritt- und Wiederholbildgebung, um komplexe Muster mit einer maximalen Feldgröße von 80 x 80 mm zu erreichen. Es ist kompatibel mit einer Reihe von nassen und trockenen Prozessen, so dass es sehr vielseitig und kann für photolithographische Prozesse wie 1X, 1.5X, 2X und 4X Belichtungen verwendet werden. PAS5500/80-Wafer-Stepper verfügt über Funktionen zur automatischen Fokussierung und automatischen Ausrichtung sowie über eine fortschrittliche Umgebungserfassungsmaschine zur Steuerung der Prozessumgebung. Es ist in der Lage, Präzisionsbelichtungen mit niedrigen Substrattemperaturen zu erzielen, und seine schnellen Durchsatzfähigkeiten machen es gut für Serienproduktionsprozesse geeignet. Das Werkzeug enthält auch eine hochgenaue Ablenkungsmesseinrichtung für stabiles Resist- und Verschmutzungsmanagement. Dies trägt dazu bei, die Genauigkeit über den gesamten Herstellungsprozess zu gewährleisten. Der Wafer-Stepper verfügt über zusätzliche Sicherheitsvorkehrungen in seine Konstruktion, wie Schutz vor redundanten Programmen, fehlerhafte Programmauswahl und prozessbedingte Fehlentscheidungen. Das Wafer-Schrittmodell ASML PAS5500/80 ist für den Einsatz in einer Reinraumklasse von mindestens 1 ausgelegt, mit extrem niedrigem Geräuschpegel und konstanter Stromversorgung. Es ist in der Lage, Produktionsabläufe in Echtzeit zu optimieren und kann in eine Fabrikautomatisierungsanlage integriert werden. Sein benutzerfreundliches Design macht es ideal für Ingenieure jeder Erfahrungsstufe.
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