Gebraucht ASML PAS 5500 / 850C #293817849 zu verkaufen

ASML PAS 5500/ 850C ist ein hochpräziser, produktiver Wafer-Stepper. Es wurde entworfen und gebaut, um den stetig steigenden Anforderungen der heutigen Halbleiterhersteller gerecht zu werden. Es ist ideal für die Herstellung von integrierten Schaltungen, Speicherchips und einer Vielzahl anderer komplexer Wafer-Level-ICs. Die 850C verwendet eine proprietäre Strahllithographie-Ausrüstung, bestehend aus einer Projektionsoptik-Einheit und einer fortgeschrittenen Abtaststufe. Es verwendet eine niedrige kV, hohe numerische Apertur (NA) -Linse, um eine überlegene Auflösung zu bieten, so dass Chip-Layouts ihre Integrität auch während der komplizierten Waferbearbeitung behalten können. Zusätzlich sorgt eine Lichtquelle hoher Intensität für höchsten Durchsatz und beste Abbildungsergebnisse. Die 850C verwendet eine große Anzahl von Fehlerprozessinspektionswerkzeugen, einschließlich Luftbilderkennung, automatisierte Fehleranalyse und In-Die-Fehler-Inspektion. Bei der Wafer-Inspektion wertet das patentierte „QuadTech“ -System die ICs auf prozessbedingte Defekte sowie etwaige mit dem photolithographischen Prozess verbundene Anomalien aus. Darüber hinaus ermöglicht das integrierte Kanteninspektionswerkzeug des Geräts die schnelle Erkennung fehlerhafter Kanten. Hinsichtlich der Genauigkeit verfügt die 850C über einen Weggeber mit 1 nm Schrittauflösung und +/-75 nm Linearitätsgenauigkeit. Die integrierte Autofokusmaschine sorgt zudem für optimale Flachheit des Wafers und minimiert so den Einfluss von Fehl- oder Wafer-Kettprofilen. Um robuste und langfristige Leistung zu bieten, wird das 850C mit einer erweiterten Neigungsrate-Option gebaut, die auch bei der Verarbeitung von hochmotorisierten Chips oder schwierigen Layoutgeometrien für zuverlässige und konsistente Ergebnisse sorgt. Darüber hinaus ermöglichen die intuitive Benutzeroberfläche und die Prozessüberwachung eine einfache Fehlerbehebung und Nachverfolgung der Erträge. Insgesamt ist PAS 5500/ 850C ein zuverlässiger High-End-Wafer-Stepper, der eine überlegene Auflösung, einwandfreie Fehlerinspektion und langfristige Leistung bietet. Es ist ein perfektes Gerät für High-Tech-Branchen, die Qualitätsergebnisse mit kürzerer Umlaufzeit erfordern.