Gebraucht ASML PAS 5500 / 850D #293817847 zu verkaufen

ASML PAS 5500 / 850D
Hersteller
ASML
Modell
PAS 5500 / 850D
ID: 293817847
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.55~0.80 DCO:  15 MMO: 25 Resolution: 110 nm Throughput (WPH): 145.
ASML PAS 5500/ 850D ist ein hochmoderner Wafer-Stepper für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und die lithographische Verarbeitung. Es verfügt über eine Dual-Stage-Optik-Ausrüstung mit einer großen Sammlung optischer Optikkonfigurationen, die eine breite Palette von Wafer-Bildgebungsfunktionen ermöglichen. Das System verwendet fortschrittliche optische Komponenten, die eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit ermöglichen, einschließlich Mikrolithographie und extremer ultravioletter (EUV) Lichtbelichtung. Das Design des Geräts macht es zu einem der effizientesten und leistungsstärksten Werkzeuge für die Lithographie und ist damit eine ideale Lösung für anspruchsvolle Halbleiterbauelemente. Die Basismaschine besteht aus zwei Stufen: einer Abtaststufe, in der die Maske gescannt wird, um das gewünschte Muster zu projizieren, und einer Belichtungsstufe, in der der Wafer dem UV-Licht durch die Maske ausgesetzt wird. Die Fünf-Achsen-Bewegungsstufe des Werkzeugs bietet bis zu 1 Mikrometer Bewegungsgenauigkeit und ermöglicht eine präzise Strahlausrichtung auch bei höchsten Auflösungsstufen. Das Asset nutzt mehrere erweiterte Funktionen, um die Bildqualität zu verbessern und die Bildgebungszeit zu reduzieren. Es verfügt über einen ultrahochauflösenden Photodetektor, der eine genaue Datenerfassung und anschließende Verarbeitung gewährleistet. Es verfügt auch über eine robuste EUV-Lichtquelle, die die richtige Energie für die HAR-Strukturierung und Deep-UV-Bildgebung bereitstellen kann. Ein LCD-Projektionsmodell (Liquid-Crystal Display) bietet dem Bediener ein visuelles Feedback, das eine einfache Bedienung und Anpassungen ermöglicht, um genaue und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Die Geräte verwenden automatisierte Materialhandhabungssysteme, um die Wafer und Masken während der bildgebenden Prozesse zu verwalten. Dazu gehören integrierte Systeme zum Be- und Entladen von Wafern sowie Roboter zum Übertragen der Proben und Masken auf die Belichtungsstufe. Darüber hinaus werden umfassende Softwarelösungen zur Steuerung, Verwaltung und Überwachung der Linsenauswahl, der Musterung, der Belichtung und anderer Betriebsparameter bereitgestellt. PAS 5500/ 850D ist ein vielseitiges Werkzeug, das in vielen verschiedenen Anwendungen eingesetzt werden kann, wie Einzelmaskenbildgebung, Dual-Maskenbildgebung, kurze Wafer-Herausforderungen, Musterüberlagerung und vieles mehr. Das System eignet sich gut für kommerzielle, industrielle und Forschungseinstellungen und liefert schnelle und genaue Ergebnisse, um komplexe Lithographie-Prozesse zu unterstützen. Ob es darum geht, Hochleistungs-Chips zu produzieren oder neue Lithografiefunktionen zu erforschen, ASML PAS 5500/ 850D kann liefern.
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