Gebraucht ASML PAS 5500 / 90 #293817842 zu verkaufen
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ID: 293817842
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.5
Resolution: 350 nm
DCO: 70
Throughput (WPH): 60.
ASML PAS 5500/90 ist ein fortschrittliches laserbasiertes Wafer-Schrittsystem. Dieser Stepper fungiert als Photonenstrahl-Lithographiewerkzeug und verwendet hochleistungsfähige Argonlaser, um nanoskalige Strukturen auf Halbleiterscheiben zu erzeugen. Es ermöglicht die hochpräzise Ausrichtung und Bewegung von Objekten (auf einem Wafer) mit einer Auflösung von bis zu 0,7 Mikrometern. PAS 5500/90 ist in einem Hochvakuum-Gehäuse untergebracht, um eine verbesserte Photonensammlung zu ermöglichen, und besteht aus robusten Materialien, die Vibrationen reduzieren und die Mikrogenauigkeit für eine optimale Waferleistung beibehalten. Der Stepper enthält zwei primäre Komponenten: einen Scatter Beam Generator (SBG) und das Wafer Holding System (WHS). Die SBG befindet sich an der Basis der Einheit und projiziert einen Elektronenstrahl auf die Oberfläche des Wafers. Das an der Oberseite der Einheit angeordnete WHS ist für das Halten und präzise Bewegen des Wafers mit motorisierten linearen und kreisförmigen Bewegungen verantwortlich, wodurch komplizierte Muster mit Laserstrahlen geätzt werden können. Mit dem ASML PAS 5500/90 können mikroskopische Merkmale und Schaltungen wie Logikschaltungen, MEMs und Transistoren auf einem Wafer aufgebaut werden. Es ist in der Lage, feine Muster unterschiedlicher Formen wie Kreise, Quadrate und Polygone mit einer Mindestlinienbreite von 0,7 Mikrometern zu erstellen. Mit dieser Maschine können auch die Mikrofonarrays erstellt werden, die in medizinischen und hör-/sprachtechnischen Anwendungen eingesetzt werden. Um die Genauigkeit zu gewährleisten, verwendet der Stepper einen Algorithmus namens Image Transformation Algorithm (ITA). Dieser Algorithmus ermöglicht es dem Stepper, das gewünschte Muster auf dem Wafer mit minimaler Belichtungsnachbelichtungsberechnung genau vorherzusagen und zu erstellen. Mit seiner überlegenen Genauigkeit kann PAS 5500/90 als zuverlässiges Werkzeug für fortschrittliche Nanotechnologien wie 3D-Druck dienen. ASML PAS 5500/90 ist für eine schnelle, einfache Einrichtung und einfache Wartung konzipiert und minimiert Ausfallzeiten für Benutzer. Es bietet eine intuitive Benutzeroberfläche mit Touchscreen-Steuerung, so dass der Bediener die Einstellungen und Parameter nach Bedarf schnell anpassen kann. Durch seine fortschrittlichen Eigenschaften und sein robustes Design bietet PAS 5500/90 außergewöhnliche Leistung bei der Herstellung feiner Nanostrukturen und -geräte.
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