Gebraucht ASML PAS 5500 #293830305 zu verkaufen

ASML PAS 5500 ist ein Schritt und Scan lithographische Wafer Stepper. Es verwendet Laserlicht, das nach dem EUV-Lithographieverfahren erzeugt wird, um ein Bild des Wafers auf eine Photomaske zu belichten. Die Maske wird dann verschoben, um verschiedene Bilder auf den Wafer zu belichten. Dieses Verfahren ermöglicht die Erstellung komplexer und detaillierter Mikroschaltungen für eine Vielzahl von Anwendungen. PAS 5500 ist ein alles in einem Matrixnavigator / vielfarbiger Scanner / optisches System, das von vielfachen Computern kontrolliert ist. Es enthält acht Laser, die jeweils 30 W Leistung produzieren und eine präzise Belichtung von Mustersegmenten ermöglichen. Die Lithographiespiegel können sich auf zwei Achsen (x und y) mit Nanometergenauigkeit bewegen. Der Wafer wird auf einer AlGaAs-Halbleiterstufe bei einem Druck von 0,5 Torr gehalten, wodurch ein gleichmäßiges Ätzen während des lithographischen Prozesses möglich ist. ASML PAS 5500 verwendet EUV-Lithographie-Wellenlänge von 13,2 Nanometern (nm), um das Muster genau auf den Wafer zu ätzen. EUV-Lithographie ist ein äußerst präziser Prozess mit einem Schreibfeld von nur 5-15 nm, was zu einer minimalen Merkmalsgröße von nur 20 nm führt. PAS 5500 ist in der Lage, mehrere Muster auf einen Schlag mit minimalem Abfall zu produzieren. Es ist auch in der Lage, Hyper-Skalierung Lithographie für Bereiche mit mehreren Funktionen und hochauflösende Abscheidung für Geräte, die feinere Ätzung durchführen. Zusätzlich kann es mehrschichtige Ätz- und Nanoabdrucklithographie durchführen. ASML PAS 5500 hat einen modularen Aufbau, der eine individuelle Anpassung und einfache Wartung ermöglicht. Die Maskentabelle ist in einem Winkel von 60 Grad eingestellt, was die Zeit und Komplexität von Austauschmasken reduziert. Dies ermöglicht schnelle Änderungen während der Produktion und steigert die Produktivität. PAS 5500 Stepper ist für die mikroelektronische Fertigung optimiert und ist eine zuverlässige und effiziente Möglichkeit, komplexe Schaltungen auf Wafern herzustellen. Seine geringe Stellfläche und der geringe Stromverbrauch machen es für den Einsatz in einer Vielzahl von Fertigungsumgebungen geeignet.