Gebraucht ASML PAS 5500 #9196425 zu verkaufen

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ASML PAS 5500
Verkauft
Hersteller
ASML
Modell
PAS 5500
ID: 9196425
Steppers.
ASML PAS 5500 ist ein Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um fortschrittliche Schichten, Retikel und Masken in Photolithographie-Prozessen zu unterstützen. Diese Maschine ist in der Lage, Reparaturen und Korrekturen an Funktionsschichten durchzuführen, was zu signifikanten Verbesserungen der Waferleistung führt. Der PAS 5500 ist für eine Vielzahl von Anwendungen gedacht und bietet eine maximale Auflösung von 4 nm mit einer maximalen Scanfläche von 463 mm x 513 mm. Es verfügt auch über reduzierte Vibrationsniveaus und erhöhte Wiederholbarkeit von Belichtungen, was bedeutet, dass Schichten gleichmäßig über mehrere Wafer belichtet werden können. ASML PAS 5500 ist auch in der Lage, präzise auszurichten, mit einer Wiederholbarkeit von 1 nm. Die Konstruktion der Maschine konzentriert sich auch auf die Sicherheit, indem sie mehrere Sicherheitsmerkmale aufweist, wie die Luftschlosskammer, die Laserverriegelung und die Sicherheitstüren. Dadurch wird ein minimaler Kontakt von Technikern und Bedienern während des Betriebs gewährleistet. Das programmierbare PAS 5500 Control System wurde entwickelt, um die Rüstzeiten zu minimieren, die Belichtungswerte zu kontrollieren und Fehler zu reduzieren, wodurch Benutzer eine konsistente Leistung erhalten. ASML PAS 5500 ist auch mit leistungsstarken Kühlfunktionen, effizientem Materialtransport, ausgezeichnetem Strahlprofil und einem schnellen Abschaltsystem ausgestattet, um die Betriebsleistung zu maximieren. Dieser optimierte Betrieb bringt auch für Kunden hervorragende Mustertreue. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Lichtquellen zu verwenden, und seine maximale Wafertemperatur führt zu einer verringerten Verzerrung. Um seine Langlebigkeit zu gewährleisten, ist PAS 5500 mit einem robusten mechanischen Rahmen und Metall-Laser-geschweißten Abdeckungen für mehr Zuverlässigkeit ausgestattet. Mit einem Leistungsbedarf von 7,5 kW wurde ASML PAS 5500 entwickelt, um große Mehrfachwafer-Expositionen ohne Leistungseinbußen zu unterstützen. Insgesamt ist PAS 5500 ein zuverlässiger und leistungsstarker Wafer-Stepper, der für die Präzisionslithographie entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um die Genauigkeit zu maximieren, Zykluszeiten zu reduzieren und verbesserte Ergebnisse im Vergleich zu anderen konventionellen Systemen zu liefern.
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