Gebraucht ASML Power box #293671352 zu verkaufen

ASML Power Box ist eine Art Wafer-Stepper, der im Halbleiterverfahren verwendet wird. Es ist ein fortschrittliches Werkzeug, das entwickelt wurde, um Halbleiterscheiben präzise zu positionieren und verschiedenen Arten von Strahlung auszusetzen. Die Maschine verwendet X-, Y- und Z-Motoren, um die Bühne zu bewegen und die Beleuchtungsparameter auf dem Wafer anzupassen. Dies ermöglicht eine hochgenaue Lithographie kleiner Geräte und eine hohe Funktionsdichte. Die grundlegenden Parameter von Power Box sind wie folgt: bildgebende Fläche - 300 mm; Bildgröße - 200 bis 500 nm; Beleuchtungsquellen - UV, IR und sichtbar; Expositionsdosisbereich - von 0,1 bis 10 µJ/cm2; Wiederholbarkeit - < 1 µm Die Maschine verfügt auch über erweiterte Automatisierungsfunktionen zum Be- und Entladen von Wafern, wodurch sie einfach zu warten ist. Um die höchste Bildqualität zu erreichen, verwendet ASML Power Box zwei Hauptkomponenten; die Abtastlinsenanordnung und das Waferbühnensystem. Die Abtastlinsenanordnung besteht aus servoangetriebenen Spiegeln, die einen Lichtstrahl auf den Wafer lenken. Die Spiegel bewegen sich in allen 3 Achsen, um den Fokus, die räumliche Auflösung und die Belichtungsparameter des Lithographieprozesses einzustellen. Das Wafer-Bühnensystem besteht aus einem stationären Tisch und einer beweglichen Bühne, die sich in X-, Y- und Z-Richtung bewegt, um den Strahl auf verschiedene Stellen auf dem Wafer zu lenken. Verschiedene Arten von Strahlung können mit Power Box verwendet werden, einschließlich E-Strahl, extreme UV, ionisierende Strahlung und Infrarot. Die Maschine ist auch mit mehreren Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie automatische Abschaltung und Laser-Alarme. ASML Power Box ist ein unglaublich fortschrittliches Tool, das eine präzise Kontrolle über den Lithographie-Prozess bietet. Mit seinen mehreren Beleuchtungsquellen und hochwertigen Bildern ist Power Box ideal für die Herstellung kleiner Geräte mit hoher Funktionsdichte.