Gebraucht ASML Twinscan AT 1100 #9360842 zu verkaufen
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ASML Twinscan AT 1100 ist eine zweistrahlige Wafer-Scanning-Ausrüstung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es verfügt über eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche und eine hochwertige digitale Signalverarbeitung. Das System ist sowohl für hohe Geschwindigkeit als auch für präzise Ausrichtung und Fokussierung optimiert. Twinscan AT 1100 unterstützt schnelle Behandlungszeiten von 24/7 bei höchstem Durchsatz und geringen Betriebskosten. Der Wafer-Stepper bietet auch erweiterte Overlay-Funktionen für kritische Registrierung, verbesserte Qualität und Datenverwaltung. ASML Twinscan AT 1100 nutzt fortschrittliche Technologien für hochauflösende Bildgebung, Prozesssteuerung und für hochpräzise Operationen. Es enthält eine erweiterte automatische Ausrichtung, eine Referenzausrichtungskarte und On-the-Fly-Kompensationsmerkmale für eine stabile Ausrichtung. Das Gerät verfügt zudem über eine hochauflösende Wafer-Positionierung und rückverfolgbare Messtechnik-Stationen. Diese sind entworfen, um x, y, z Bewegung, Steigung, Rolle und mehr zu messen. Twinscan AT 1100 verfügt zudem über intelligente Bildgebung, die es Anwendern ermöglicht, die neueste Bildverarbeitungstechnologie zu nutzen. Es enthält bis zu 256-Bit-Auflösung mit mehreren fortschrittlichen Bildgebungstechnologien wie Autofokus, Objektivverzerrungskorrektur und Image Binning. Die Maschine verwendet auch sowohl einen Abtastkopf als auch einen hochpräzisen optischen Profiler. Dies gewährleistet hochauflösende und zuverlässige Informationen für anwendungsspezifische Wafer-Ebenheit und Fehlererkennung. ASML Twinscan AT 1100 ist ein komplett modulares Werkzeug, das für den Einsatz in einer Vielzahl von Waferbearbeitungsanwendungen konzipiert ist. Es unterstützt eine Vielzahl von Scan-Formaten, von Retikeln bis zu großen Wafern. Es verfügt auch über ein skalierbares Design mit einem einzigen Sichtfeld-Bereich von 5 μ m bis 200 mm, so dass Benutzer die am besten geeignete Scantechnologie für ihre spezifischen Anwendungsbedürfnisse auswählen können. Twinscan AT 1100 bietet zudem Kostenvorteile und macht die Implementierung für kleine und mittlere Halbleiterproduktionsanlagen attraktiv. Es verfügt über eine niedrige und unabhängige Wartungsstruktur, so dass Benutzer ihre eigenen Service- und Supportanforderungen abdecken können. Darüber hinaus umfasst der Wafer-Stepper eine integrierte Umgebungsüberwachungsstation und optionale Metrologie-Dienste, um einen stabilen Prozess zu gewährleisten.
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