Gebraucht ASML Twinscan AT 1100B #293667141 zu verkaufen

ASML Twinscan AT 1100B ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der für die Photolithographie in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es ist ein Hochleistungs-Lithographie-Tool, das überlegene Auflösung, ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und schnelle Zykluszeit bietet und die Herstellung von Hochvolumen-Halbleitern ermöglicht. Das Scangerät des TwinScan besteht aus zwei Top-of-the-Line-Lithographieoptiken (Optik 1 und 2) in einer Zwei-Spiegel-Scankonfiguration. Dieses Setup bietet überlegene Bildgebung und ausgezeichnete Gleichmäßigkeit über den gesamten Wafer und ist in der Lage, eine breite Palette von Wafergrößen aufzunehmen. Die erweiterte Optik des TwinScan bietet zudem eine überlegene Auflösung und scannt bis zu 0,35 µm Funktionsgrößen mit einem maximalen NA von 0,9. Weitere Merkmale von Twinscan AT 1100B sind seine fortschrittliche, benutzerfreundliche Steuerungssoftware, die eine einfache Bedienung und Systemanpassung ermöglicht. Dies minimiert auch die Ausrichtungszeit und ermöglicht eine schnelle Wafer-Einrichtung. Das Gerät bietet auch eine Funktion zur Selbstbehandlung von Fehlern, mit der alle Maschinenfehler schnell erkannt und behoben werden können. Der TwinScan soll eine überlegene Messtechnik bieten, die für Photolithographie-Prozesse unerlässlich ist. Es ist mit einem aktiven Messtechnikwerkzeug ausgestattet, das ein monochromatisches Interferenzschild verwendet, um 3D-Topographiefehler zu erkennen. Es verfügt über einen Wafer-Überlappungs-Mehrfeld-Nähmodus, der zum präzisen Nähen von Mehrfeldbildern nützlich ist. ASML Twinscan AT 1100B verfügt zudem über ein Hochvakuum-Asset und ein präzises Wafer-Lademodell, das hohe Leistung und hohen Durchsatz ermöglicht. Darüber hinaus verhindert seine fortschrittliche Resist-Cook-off-Ausrüstung das Verbrennen des Resists während der Exposition, was zu einer verbesserten Leistung führt. Insgesamt ist Twinscan AT 1100B ein Top-of-the-Line-Wafer-Stepper, der eine unschlagbare Auflösung, Gleichmäßigkeit und Zykluszeit bietet. Die fortschrittlichen Eigenschaften und die hochpräzise Messtechnik machen es zu einer idealen Wahl für Produktionsumgebungen, die höchste Genauigkeit und hohe Serienproduktion erfordern.