Gebraucht ASML Twinscan AT 1100B #293816605 zu verkaufen

ASML Twinscan AT 1100B ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper - eine Maschine, die in der Halbleiterindustrie zur Herstellung integrierter Schaltungen eingesetzt wird -, der von der niederländischen Firma ASML produziert wird. Es ist ein Stepper auf Immersionsbasis und verwendet sowohl eine dispersionskorrigierende, hohe numerische Aperturlinse als auch eine fortschrittliche Lithographieausrüstung, um Wafer mit außergewöhnlicher Genauigkeit bis zum Knoten 40 nm zu mustern. Twinscan AT 1100B verfügt über mehrere Komponenten, die es zu einer idealen Maschine für die IC-Herstellung machen. Die integrierte dispersionskorrigierende Optik reduziert Wellenfrontaberrationen über das gesamte Feld und ermöglicht den Einsatz an numerischen Öffnungen bis zu 1,35. Photomasken, mit denen die Waferoberfläche gemustert wird, werden auf eine Waferstufe geladen, die dann mit Auflösungen von 0,05 bis 0,10 μ m in x- und y- Achse über den Wafer übersetzt wird. Die Maschine ist auch mit einem zweifarbigen Retikle-Feature ausgestattet, das Einzelbelichtung, Doppelbelichtung und Mehrfachbelichtungsanwendungen unterstützt. ASML Twinscan AT 1100B ist mit außergewöhnlichen Bildgebungs- und Overlay-Funktionen sowie einer proprietären Softwareplattform zur Steuerung des Lithographiesystems konzipiert. Das Gerät arbeitet mit einer zweistufigen In-Chamber-Fokus-Maschine, die Defokus aufgrund der Ungleichmäßigkeit des Prozesses kompensiert und sowohl Luftlager als auch motorisierte Bühnenkonstruktionen umfasst. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, in-situ Prozessüberwachung, so dass eine schnellere Rückmeldung und Korrekturen auf den Belichtungsprozess. Twinscan AT 1100B bietet überlegenen Durchsatz und Betriebskosten. Die Maschine kann bis zu 500 mm2 pro Stunde scannen und ist sowohl einfach zu warten als auch kostengünstig zu bedienen. Es verfügt über integrierte Werkzeugintegritätsprüfungen sowie eine zuverlässige Servosteuerung, was es zu einem hochproduktiven und effizienten Wafer-Stepper macht. Darüber hinaus bietet ASML Twinscan AT 1100B maximale Flexibilität in geprüften Prozessen und Materialien, was bedeutet, dass es eine Vielzahl von Belichtungsprozessen von der kurzen Exposition bis hin zu Multiexpositionsrezepten bewältigen kann. Kurz gesagt, Twinscan AT 1100B ist ein fortschrittlicher und vielseitiger Wafer-Stepper, der ideal ist, um extrem genaue integrierte Schaltungen bis zum 40 nm Knoten herzustellen. ASML Twinscan AT 1100B ist mit seinen starken Bildgebungs- und Overlay-Funktionen, In-situ-Prozessüberwachungsfunktionen und seinem hervorragenden Wirkungsgrad und Durchsatz eine ideale Maschine für die Halbleiterproduktionsindustrie.