Gebraucht ASML Twinscan AT 1100B #293817674 zu verkaufen

ASML Twinscan AT 1100B ist ein Top-of-the-Line-Wafer-Stepper, hergestellt vom Halbleiterhersteller ASML. Dieses Gerät ist in der Lage, extrem genaue Muster auf der oberen Oberfläche eines Siliziums oder eines anderen Halbleiterwafers zu erzeugen. Das System besteht aus einer Stufe, die den Wafer hält, und drei Hauptbewegungskomponenten - die Beleuchtungseinheit, die Objektivlinse und die Projektionsplatte. Die Beleuchtungsmaschine dient dazu, eine völlig gleichmäßige Belichtung des Musters mit der Waferoberfläche zu erzeugen. Dies geschieht mit drei Halogenlampen, die eine einstellbare Höhe für verschiedene Arten von Belichtungen haben und eine gleichmäßige Lichtintensität über den Wafer bereitstellen. Eine Hohlkathodenlampe wird verwendet, um eine stabilisierte, ultrakurze Belichtungszeit für hochpräzise Belichtungen mit einem Minimum an thermischen Effekten bereitzustellen. Mit der Objektivlinse wird das von der Projektionsplatte auf die Waferoberfläche projizierte Bild vergrößert, so dass das erzeugte Muster bei höchster Auflösung genau ist. Das Objektiv hat eine variable numerische Apertur und ist in der Lage, von 1X-4X zu zoomen, wodurch verschiedene Arten von Mustern mit maximaler Genauigkeit auf dem Wafer hergestellt werden können. Die Projektionsplatte befindet sich neben der Linse und dient dazu, das gewünschte Muster auf die Waferoberfläche zu projizieren. Diese Platte enthält eine Anordnung von Spiegeln und das Muster wird von vier Lasern erzeugt, und 180 Grad Bewegung wird aktiviert, so dass Muster aus einer Vielzahl von Winkeln erzeugt werden können. Im Gegensatz zu anderen Wafersteppern verfügt Twinscan AT 1100B über ein Schichtbelichtungswerkzeug, das die optimale Belichtung jeder Schicht gewährleistet, ohne das Substrat bewegen oder neigen zu müssen. Dies erhöht die Genauigkeit und ermöglicht höhere Produktionsgeschwindigkeiten und Kosteneffizienz. Das Asset ist Desktop-Größe, aber leicht auf Rädern von einem Ort zum anderen bewegt. Es ist in der Lage, extrem genaue Muster bei Auflösungen über 0,5 um zu produzieren, die ideal für fortgeschrittene integrierte Schaltungen sind. ASML Twinscan AT 1100B ist eine gute Wahl für Halbleiterbauelementehersteller, die nach erstklassigen Wafer-Schrittsystemen suchen.