Gebraucht ASML Twinscan AT 1100B #293817722 zu verkaufen

ASML Twinscan AT 1100B ist ein hochpräziser Wafer-Stepper für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Der Wafer-Stepper verwendet eine hochgenaue Bühnenausrüstung, die eine präzise Ausrichtung und Belichtung des gesamten Wafers ermöglicht. Der Twinscan sitzt auf einer zentral gelegenen Portalanlage, die zwei unabhängig bewegliche Linsen beherbergt. Die Linsen bieten ein leistungsstarkes Nahfokus-System, das sicherstellt, dass der Wafer auch nach einer Linsenverschiebung immer in der gleichen genauen Position ist. Die AT- 1100B bietet Objektivbewegungen von weniger als 2,5 Nanometern mit einem Gesamtfokusbereich von bis zu 1,73 Mikrometern. Diese Genauigkeit stellt sicher, dass die Belichtung auch bei Verwendung der lichtempfindlichsten Materialien im gesamten Wafer konsistent ist. Die AT- 1100B verwendet eine fortschrittliche optische Verstärkungssteuerung, um eine gleichmäßige Belichtung auch mit den lichtempfindlichsten Materialien der höchsten Auflösung aufrechtzuerhalten und eine gleichmäßige Belichtung zu gewährleisten, auch wenn der Wafer während eines Schusses gekippt wird. Der Wafer wird von einer Röntgenquelle mit einer Strahlbreite von 100 µm und einem Durchmesser von 0,2 µm beleuchtet. Dadurch entsteht ein Belichtungsfeld, das in nur sechs Sekunden einen vollen Wafer abdeckt. Der Stepper verfügt außerdem über eine integrierte erweiterte Steuereinheit, mit der der Benutzer das Belichtungsfeld überwachen und einstellen sowie die Fokusparameter steuern kann. Dadurch erreicht der Anwender höchste Genauigkeit und Gleichmäßigkeit über den gesamten Wafer. Darüber hinaus verfügt die AT- 1100B über eine Waferausrichtmaschine, die mit einem Sensor die Lage des Wafers bestimmt und das Belichtungsfeld entsprechend einstellt. Schließlich ist der Stepper mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen wie einem Kollisionserkennungswerkzeug ausgestattet, um sicherzustellen, dass der Wafer während seiner Exposition nicht beschädigt wird. Darüber hinaus wird die AT- 1100B für Dauereinsatz bewertet und eignet sich somit gut für hochwertige, hochpräzise Produktionslinien.