Gebraucht ASML Twinscan AT 1150 #9360853 zu verkaufen
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ASML Twinscan AT 1150 ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es weist eine partitionierte Abtasteinrichtung auf, die aus zwei Teilen besteht - einem primären Abtastsystem zur Winkelabtastung in der x-y-Ebene und einer sekundären Abtasteinheit zur linearen Abtastung entlang der z-Achse. Twinscan AT 1150 verwendet ein diffraktives mikrooptisches Element, um die Qualität des Ausgangsbildes zu verbessern. Es ist mit einer Abschirmmaschine ausgestattet, um Schäden an der Optik während der Bildgebung zu verhindern. ASML Twinscan AT 1150 hat ein großes Sichtfeld mit einer maximalen Feldgröße von 19 x 19 mils und einer maximalen Feldabweichung von 0,05 mils. Es hat eine Mindestformelementgröße von 2,5 nm, mit einer Mindestformelementtoleranz von 0,25 nm. Dank seines fortschrittlichen mikrooptischen Elements verfügt der Stepper über eine extrem hohe numerische Blende von 0,8, die breiteste verfügbare. Darüber hinaus ermöglicht sein optisches Design eine gleichzeitige hohe NA und niedrige Verzerrung. Twinscan AT 1150 ist mit einem beeindruckenden Datendurchsatz von bis zu 500 Wafern pro Stunde ausgelegt. Es kann auch in einer Vielzahl von Umgebungen betrieben werden, von Standard bis Vakuum. Es ist mit einer Gelenkstufe ausgestattet, die Hochgeschwindigkeitsübersetzungen von bis zu 10 m/s ermöglicht, und verfügt über ein integriertes digitales Messwerkzeug für verbesserte Genauigkeit und Präzision. Der Stepper ist mit mehreren fortschrittlichen Beleuchtungssystemen ausgestattet, mit einer Vielzahl von Optionen für Leistung, Wellenlänge und Intensität. Die fortschrittliche interne Software ermöglicht erweiterte interne Bildverarbeitung und bildbasierte Entscheidungen. Es ist auch mit einem globalen Alignment Asset integriert, um die Genauigkeit der Messungen über eine Reihe von Wafer-Proben zu gewährleisten. ASML Twinscan AT 1150 ist ein hochentwickeltes Modell, das den Anforderungen der sich ständig entwickelnden Halbleiterindustrie gerecht wird. Mit seinem großen Sichtfeld, der hohen numerischen Apertur und der schnellen Datendurchsatzrate ist es ein ideales Werkzeug für Bildreduzierungs- und Ausrichtungsprozesse. Dank der ausgeklügelten Beleuchtungssysteme und der Bildverarbeitungsfähigkeit eignet es sich effektiv für die hohen Anforderungen des Herstellungsprozesses.
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