Gebraucht ASML Twinscan AT 1150i #9112174 zu verkaufen

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ID: 9112174
Beam Matching Unit.
ASML Twinscan AT 1150i ist ein führender Photolithographie-Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um hochpräzise Lithographie von integrierten Schaltungen (ICs), mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) und fortschrittlicher Optik durchzuführen. Diese automatisierte Scanner-Ausrüstung bietet Kunden einen überlegenen Durchsatz, hervorragende Mustertreue und erweiterten Prozessspielraum, um die fortschrittlichsten Technologien zu produzieren. Twinscan AT 1150i ist das Tool der neuesten Generation, das ein neues Scanner-Design, eine In-situ-Kalibrierung und erweiterte Messtechnik und Prozesskontrolle bietet. Es integriert ASML-Einbruchphotolithographie-System mit einem einzigartigen Scanner-Einheit-Design mit einem Hochgeschwindigkeits-linearen Scan, einem Zwei-Rahmen, einem einzelnen Deflektor und einer Feldlinse, die große Gleichmäßigkeit und Effizienz gewährleistet. Mit der Leistung und Flexibilität von ASML Twinscan AT 1150i können Benutzer Chips mit Funktionsgrößen bis zu 20 nm lithografieren und gleichzeitig eine hervorragende Margen- und Overlay-Leistung erzielen. Twinscan AT 1150i bietet Anwendern die Möglichkeit, hoch anspruchsvolle spiegelnde und nicht-spiegelnde Schichten mit außergewöhnlicher Kontrolle und Genauigkeit zu lithographieren. Die Maschine nutzt auch eine hochpräzise X-Y-Stufe und Scanner-Bewegungssysteme, die hohen Durchsatz und schnellen Durchsatz ermöglichen. Es verwendet auch Quadrantendetektoren, um eine unübertroffene Gleichmäßigkeit der Bilder zu gewährleisten. Neben überlegenen Lithographie-Fähigkeiten bietet ASML Twinscan AT 1150i auch eine Vielzahl fortschrittlicher Mess- und Prozesssteuerungsoptionen. Dazu gehören ein fortschrittliches Messtechnikwerkzeug für Retikel, ein Auto-Skalierungs-Asset mit mehreren Quadranten, Tiefenschärfenberechnungen und aktives Feedback für eine höhere Lithographieoptimierung. Darüber hinaus verfügt Twinscan AT 1150i über ein branchenführendes Inspektionsmodell, mit dem die Integrität von Wafern validiert wird, bevor sie freigelegt werden. Leistung und Stabilität sind zwei der wichtigsten Merkmale von ASML Twinscan AT 1150i. Diese Maschine wird von fortschrittlichen Wafer-Handhabungssystemen angetrieben, die mehrere Stufen und Roboter umfassen, und einem abgedichteten Scanner, um optimale Arbeitsbedingungen unabhängig von Umgebungstemperaturen zu gewährleisten. Es verfügt auch über Onboard-Wafer-Routing, Overhead-Cold-Process-Switching und On-the-Fly-Konfigurationsänderungen, die einen kontinuierlichen Produktionsprozess ermöglichen. Twinscan AT 1150i ist das ideale Werkzeug für Fine-Pitch-Technologien und High-End-3D-Design. Es kombiniert überlegene Lithographie-Leistung und fortschrittliche Messtechnik und Prozesskontrolle Fähigkeiten, um die höchste Qualität Gerätedesign zu gewährleisten. Mit seiner fortschrittlichen Lichtquellen- und Scantechnologie gibt ASML Twinscan AT 1150i Benutzern die Macht, die fähigsten Geräte zu schaffen, die heute verfügbar sind.
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