Gebraucht ASML Twinscan AT 1150i #9112188 zu verkaufen

ASML Twinscan AT 1150i Wafer Stepper ist eine hochmoderne Lithographie-Maschine, die in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist. Die Maschine ist in der Lage, hochauflösende optische Muster mit einer kleinen Punktgröße von weniger als 10 Nanometern zu erzeugen. Die 1150i ist eine Projektionsabtastmaschine, die mit einem Laserstrahl ein Muster auf einem Wafer erzeugt. Der Laserstrahl wird zunächst von einem rotierenden Kugelspiegel reflektiert, der den Strahl auf eine Reihe kleiner Bewegungsstufen fokussiert. Die Stufen bewegen den Laserstrahl in einem vorgegebenen Muster über den Wafer. Der Wafer ist in einer 5-Achsen-Stufe gelagert, die es erlaubt, ihn in jede Richtung zu bewegen. Die Bühne ist auch in der Lage, den Wafer zu drehen, während der Laser über die Oberfläche gescannt wird. Diese Technik ermöglicht die Verwendung der 1150i für mehrere Belichtungsaufträge und kann sogar mehrere verschiedene Muster auf einem einzelnen Wafer erstellen. Die 1150i verwendet eine Technik namens Schritt und wiederholen, wo es den gleichen Abschnitt des Wafers mehrmals scannt. Auf diese Weise können mehrere Schichten eines Wafers in einem einzigen Scan aufgebaut werden. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein Multi-Gate-System, mit dem der Fokus des Laserstrahls fliegend eingestellt werden kann. Die 1150i verfügt auch über eine programmierbare Steuerung, die es dem Benutzer ermöglicht, bestimmte Geschwindigkeits- und Beschleunigungsparameter zu definieren, um die die Maschine arbeitet. Diese Funktion ermöglicht es dem Anwender, das System für verschiedene Aufträge zu optimieren, z. B. für hohen Durchsatz oder geringe Musterkomplexität, was zu einer erhöhten Produktivität führen kann. Zusätzlich zu seinen überlegenen Scanfunktionen ist der 1150i auch in der Lage, Daten schnell zu verarbeiten und so eine schnelle und genaue Musterdefinition zu gewährleisten. Die Maschine kann Auftragsinformationen so schnell wie innerhalb von 10 Millisekunden verarbeiten und ist auch in Echtzeit ausrichtbar. Die 1150i ist eine effiziente und zuverlässige Maschine, die überlegene Mustertreue und Gleichmäßigkeit bietet. Sein robustes Design und seine integrierten Eigenschaften machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Halbleiterherstellung und Forschungs- und Entwicklungsanforderungen.