Gebraucht ASML Twinscan NXT 1965Ci #293817826 zu verkaufen
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ID: 293817826
Immersion lithography system
Numerical Aperture (NA): 0.85-1.35
Resolution: 38 nm
DCO: 2.5
MMO: 4.5
Throughput (WPH): 250.
ASML Twinscan NXT 1965Ci ist ein modernster Wafer-Stepper, der von ASML, dem führenden Halbleiterausrüster der Welt, entworfen und hergestellt wird. Dieses fortschrittliche Lithographie-Tool ist mit modernster Technologie ausgestattet, um die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie zur Herstellung hochauflösender, hochleistungsfähiger integrierter Schaltungen zu erfüllen. Twinscan NXT 1965Ci verfügt über eine 193-Nanometer-Excimer-Laserquelle, die die notwendige Wellenlänge zur Erzielung einer hohen Auflösung und präzisen Strukturierung auf Silizium-Wafern bietet. Diese Laserquelle ist von entscheidender Bedeutung für die Fähigkeit des Steppers, eine Auflösung von Sub-10-Nanometern zu liefern, wodurch fortschrittliche Halbleiterbauelemente mit kleineren Eigenschaften und höherer Dichte hergestellt werden können. Eines der wichtigsten Highlights des NXT 1965Ci ist sein fortschrittliches Linsensystem, das eine raffinierte Kombination aus Projektion und katadioptrischer Optik beinhaltet. Dieses Linsensystem spielt eine entscheidende Rolle bei der Fokussierung des Laserlichts, um präzise und genaue Muster auf der Waferoberfläche zu erzeugen. Der Einsatz fortschrittlicher Linsentechnologien sorgt für minimale Aberrationen und Verzerrungen, was zu überlegener Bildgebungsleistung und Mustertreue führt. Die Waferstufe des NXT 1965Ci ist für den Hochdurchsatzbetrieb ausgelegt, der große Siliziumscheiben mit Durchmessern bis 450 Millimeter handhaben kann. Dadurch kann der Stepper die Herstellung einer Vielzahl von Halbleiterbauelementen, einschließlich fortgeschrittener CPUs, Speicherchips und anderer komplexer integrierter Schaltungen, aufnehmen. Die Waferstufe ist mit fortschrittlichen Robotik- und Ausrichtsystemen zur präzisen Positionierung und Ausrichtung des Wafers während des Lithographieprozesses ausgestattet. In puncto Produktivität bietet das NXT 1965Ci dank seiner fortschrittlichen Automatisierungs- und Wafer-Handhabungsfunktionen branchenführenden Durchsatz und Verfügbarkeit. Der Stepper ist für hochvolumige Fertigungsumgebungen konzipiert, in denen Effizienz und Zuverlässigkeit an erster Stelle stehen. ASML proprietäre Software-Algorithmen und intelligente Sensortechnologien ermöglichen es dem System, Belichtungszeiten zu optimieren, Zykluszeiten zu reduzieren und das Risiko von Defekten während des Lithographieprozesses zu minimieren. Darüber hinaus ist das NXT 1965Ci mit fortschrittlichen Reticle Handling und Messtechnik-Systemen ausgestattet, die die genaue Platzierung und Ausrichtung von Retikeln für die Strukturierung komplizierter Designs auf dem Wafer gewährleisten. Die Reticle-Stufe des Steppers ist für einen schnellen und präzisen Reticle-Austausch konzipiert, der eine schnelle Einrichtung und Ausrichtung ermöglicht, um Ausfallzeiten zu minimieren und die Gesamtproduktivität zu verbessern. Insgesamt stellt ASML Twinscan NXT 1965Ci den Höhepunkt der Wafer-Stepper-Technologie dar, die modernste Optik, fortschrittliche Automatisierung und leistungsstarke Fähigkeiten kombiniert, um die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Mit seiner beispiellosen Auflösung, Durchsatz und Zuverlässigkeit ist das NXT 1965Ci ein entscheidendes Werkzeug, um die Weiterentwicklung der Halbleitertechnologie und die Entwicklung von elektronischen Geräten der nächsten Generation zu ermöglichen.
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