Gebraucht ASML Twinscan NXT 1970Ci #293817825 zu verkaufen

ASML Twinscan NXT 1970Ci ist ein lithographiebasierter Wafer-Stepper. Es verwendet eine DUV (Deep Ultraviolet) -Quelle, um Muster schichtweise auf mit Photoresist bedeckten Wafern zu belichten. Twinscan NXT 1970Ci bietet mehrere einzigartige Vorteile gegenüber herkömmlichen Photolithographie-Systemen, wie seine Hochvakuum-Ausrüstung, die die Notwendigkeit für eine Atmosphäre-Austausch-Einheit und seine große numerische Apertur, die hochauflösende Bildgebung unterstützt eliminiert. ASML Twinscan NXT 1970Ci verwendet mehrere Scanner parallel, was einen schnelleren und effizienteren Durchsatz ermöglicht. Jede Abtasteinheit ist mit einem laserbasierten Beleuchtungssystem verbunden, das Wellenlängen-Multiplikationsprinzipien verwendet, um eine optimale Auflösung zu erreichen und die Auflösungsanforderungen für jede Photolithographieschicht anzupassen. Eine automatische Kalibriereinheit im Flug überwacht kontinuierlich den Fokus und andere Parameter, um eine überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Twinscan NXT 1970Ci unterstützt eine breite Palette von Standard-Fotoresist-Filmtypen und Prozesschemien und bietet eine größere Flexibilität bei der Optimierung von Lithographieparametern für jede Art von Waferschicht. Darüber hinaus bietet die Maschine eine fortschrittliche Ausrichtungssteuerung sowohl für die globale als auch für die lokale Ausrichtung, die Einzelbelichtungsnähte an großen Mustern und Werkzeugstrukturen ohne Schattenartefakte ermöglicht. ASML Twinscan NXT 1970Ci ist mit anspruchsvollen Steuerungssystemen und fortschrittlichen 3D-Monitorwerkzeugen ausgestattet, um eine umfassende Kontrolle über alle Lithographie- und Messtechnik-Prozesse zu ermöglichen. Diese Tools umfassen Rückverfolgbarkeitsoptionen, Layer-by-Layer-Überwachung zur Prozessoptimierung und vollautomatisierte Auftragseinrichtung sowie Qualitätskontrollfunktionen wie CD/optische Steuerung. Twinscan NXT 1970Ci bietet auch umfassende Messtechnik und Inspektionsmöglichkeiten, einschließlich vollständiger 3D-berührungsloser Inspektion, Echtzeit-Bildgebung, Filmdickenüberwachung und Overlay-Kontrolle. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einer Vielzahl von Wafer-Handhabungs- und Verpackungssystemen kompatibel und ermöglicht eine nahtlose Integration in bestehende Fabriklinien. ASML Twinscan NXT 1970Ci ist die perfekte Lösung für Hochdurchsatz-FAB-Anlagen, die nach Hochleistungs-Lithographielösungen suchen. Es ermöglicht eine kostengünstige, genaue und wiederholbare Musterung auf einer Vielzahl von Fotoresists und anderen Filmtypen, so dass es ein zuverlässiger und vielseitiger Partner in jedem fortschrittlichen Herstellungsprozess ist.