Gebraucht ASML Twinscan XT 1200 #9079261 zu verkaufen

ASML Twinscan XT 1200 ist ein PAS 5500/6500 Wafer Stepper, der für die Lithographie von Halbleitersubstraten verwendet wird. Es ist eine der präzisesten optischen Maschinen, die heute bei der Herstellung integrierter Schaltungen eingesetzt werden. Es hat die Fähigkeit, Merkmale bis zu 20 nm in der Größe mit einer genauen Schrittgröße von +/- 0,5 nm zu mustern. Twinscan XT 1200 ist mit einem Synchroscan® Scanning System ausgestattet, das mit Stufen ausgestattet ist, die ein X-Y-Scannen des Wafers mit einer hohen Linearität und Geschwindigkeitsstabilität ermöglichen. Die Stufe kann eine maximale Geschwindigkeit von 240mm/Sekunde erreichen, mit einer maximalen Beschleunigung von 40G. Darüber hinaus enthält die Stufe Tonhöhe und Roll Auto-Korrektur-Sensoren, um die Ausrichtung des Musters über den gesamten gescannten Bereich beizubehalten. ASML Twinscan XT 1200 kann bis zu 300mm Durchmesser Wafersubstrate mit Auflösungseinstellungen von bis zu 0,45 μ m/Pixel belichten. Diese ultrahohe Auflösungsfähigkeit ermöglicht präzisere und präzisere Muster. Die Maschine ist auch mit einem Crop Alignment System (CAS) ausgestattet, das die Ausrichtung kleiner Wafersegmente zur präzisen Platzierung von Merkmalen in einem Wafer ermöglicht. Twinscan XT 1200 verwendet auch Arrayed Waveguide Gratings (AWGs) und Long Working Distance Targets (LWD), um die Belichtung von semi-benutzerdefinierten Schichten und Designs zu ermöglichen. Diese Wellenleitergitter sind weniger verzerrungsanfällig und bieten ein breiteres Blickfeld (FOV), was einen verbesserten Durchsatz ermöglicht. Die LWD-Ziele bieten hervorragende Tiefenschärfe (DOF), was zu schärferen Bildern führt. ASML Twinscan XT 1200 ist ein hochzuverlässiges und effizientes Produktionssystem für die heutige Halbleiterindustrie. Es ist bekannt für seine Genauigkeit und Geschwindigkeit und ist in der Lage, qualitativ hochwertige Muster mit einer größeren Merkmalsdichte als andere Maschinen seiner Größe zu produzieren. Es ist auch in der Lage, eine Reihe von Anwendungen zu adressieren, von digitalen ICs und Steuerung ICs, analoge ICs und Power-ICs, so dass es ein vielseitiges Werkzeug für die moderne Chipherstellung.