Gebraucht ASML Twinscan XT 1250 #9268786 zu verkaufen

ASML Twinscan XT 1250 ist ein Excimer-Wellenlängen-Scanner, der ein UV-Bild liefert und bei der Lithographie integrierter Schaltungen unterstützt. Es wird hauptsächlich im Wafer-Herstellungsprozess zur Herstellung von hochvolumigen lithographischen Meistern verwendet. ASML TWINSCAN XT:1250 hat eine Auflösung von zwei Mikrometern und scannt bis zu 1250 Wafer pro Stunde. Dies macht es zu einem geeigneten und effizienten Werkzeug für die High-End-Produktion von Wafern. Die Laserausrichtung von Twinscan XT 1250 wurde entwickelt, um einen präzisen, leistungsstarken Scan zu liefern. Der Scanner hat eine Positioniergenauigkeit von 5 Mikrometern und eine Verfügbarkeit von 98%. Es verfügt über ein 6x-Mustervorausrichtungssystem und eine 5-Mikron-Funktion, die Einheit vorausrichtet, was bedeutet, dass auch die kleinsten Merkmale genau positioniert werden können. Das neue dreischiebige, fünfachsige Design sorgt für mehr Genauigkeit und Flexibilität. TWINSCAN XT:1250 verwendet Laserbeleuchter, um einen kurzen UV-Lichtimpuls zu erzeugen, der zur Belichtung der Opferschicht verwendet wird. Dieser Lichtimpuls wird dann auf den Wafer geleitet und der Wafer bei der Ausrichtung des Musters belichtet. Dadurch wird sichergestellt, dass die Genauigkeit der Ausrichtung erhalten bleibt und präzise Ergebnisse erzielt werden. Die Front-end Metrologie Station ist ein weiteres wichtiges Merkmal von ASML Twinscan XT 1250. Die Metrologie-Station wird verwendet, um die Merkmale auf dem Wafer vor der Exposition zu messen. Es stellt sicher, dass der Wafer korrekt ausgerichtet ist und sich alle Merkmale in der richtigen Position befinden. ASML TWINSCAN XT:1250 verfügt auch über ein automatisiertes Cluster-Tool, das den Wafer-Stepper mit dem Cluster-Werkzeuglader verbindet. Das Werkzeug ermöglicht das schnelle und genaue Be- und Entladen von Wafermustern. Twinscan XT 1250 verfügt auch über zwei unabhängige Maschinen-Cockpits mit Echtzeit-Anzeige von Werkzeugeinstellungen, Temperaturen, Hochvakuum-Asset und anderen Modellbedingungen. Dies ist wichtig für die Verwaltung von Gerätekomponenten und die Sicherstellung, dass das System immer effizient läuft. Insgesamt ist TWINSCAN XT:1250 ein leistungsstarker und präziser Wafer-Stepper, der in kurzer Zeit hochwertige lithografische Meister herstellen kann. Es hat eine Genauigkeit von fünf Mikrometern, eine hohe Verfügbarkeitsrate und eine Laserausrichteinheit, die Präzision auf mikroskopischem Niveau garantiert. Darüber hinaus ist es mit einem automatisierten Clusterwerkzeug und zwei unabhängigen Maschinencockpits ausgestattet, die einen korrekten Werkzeugbetrieb gewährleisten.