Gebraucht ASML Twinscan XT 1250D #293602263 zu verkaufen

ASML Twinscan XT 1250D ist ein fortschrittlicher, hochpräziser und vielseitiger Wafer-Stepper, der den Produktionsanforderungen von 300mm Waferanwendungen gerecht wird. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Lithographie-Schichten von Photoresist zu Metall und darüber hinaus zu handhaben. Es zeigt eine Hochleistungs-1.250-Mm-Skandierungsstufe mit der Präzision geradliniger Motorantrieb und hochauflösende Encoder für die genaue Positionierung. Die maximale Stufengeschwindigkeit beträgt 450 mm/s und hat eine Wiederholbarkeit auf 10nm Niveau. ASML TWINSCAN XT:1250D verfügt über einen außergewöhnlich großen, hochauflösenden 11µm Spaltprojektor mit einer optischen Auflösung von besser als 1 nm. Die hohe Auflösung wird durch den Einsatz von DCM (Dot Calibration Method) und Dual-Overlay-Motoren erreicht, die beide alle Unvollkommenheiten korrigieren, um eine exakte Bildgebung zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein leistungsstarkes IC-Paket (Illumination Control), das bis zu vier Lichtquellen und eine anspruchsvolle Beleuchtungsumgebung verwalten kann. TWINSCAN XT 1250 D verfügt über ein großes, flexibles, nicht überlapptes Waferfeld, das für große Formgrößen angepasst werden kann. Das System ist in der Lage, bis zu 15 Wafer gleichzeitig zu handhaben und kann mit einer Reihe von Substraten arbeiten; von Silizium, Germanium, Polysilizium bis zu epitaktischen Schichten. Zusätzlich kann die Einheit eine Reihe von Wafergrößen handhaben; von 5 Zoll bis 14 Zoll Wafer. Twinscan XT 1250D wird von einer fortschrittlichen Steuerungsmaschine angetrieben, die erweiterte Funktionen und volle Skalierbarkeit von mehreren Mikroskopen, optomechanischen Komponenten, Motoren und Sensoren bietet. Es kommt mit fortschrittlichen Software-Tools und Protokollen entwickelt, um schnelle und genaue Lithographie zu erleichtern. Seine eingebaute Diagnose, proaktive Prozesssteuerung (PPC) und vibrationsfreie Zuführung machen es einfach, die Maschine zu bedienen und zu warten. ASML TWINSCAN XT 1250 D Tool wird durch eine umfassende Reihe von Dienstleistungen unterstützt, um eine ordnungsgemäße Leistung und Langlebigkeit der Anlage zu gewährleisten. Dazu gehören Inbetriebnahme und Inbetriebnahme vor Ort, Modellwartung und -unterstützung, Ersatzteile und Schulungen. Darüber hinaus bietet ASML Leistungsgarantien, die sicherstellen, dass die Geräte ihre Leistungsanforderungen erfüllen.