Gebraucht ASML Twinscan XT 1250D #9207817 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9207817
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
ArF Scanner, 12"
RH Type: Right type
WH Type: SMIF
Workstation type: NETRA V240
Laser type: CYMER Laser
Uniformity: 0.93 % (<0.35 %)
Stray light: 0.53% (<1.0%)
Lens data
Spherical: 0.92 nm (-0.2 to 0.2)
Coma: 0.78 nm (-0.2 to 0.2)
Astigmatism: 1.1 nm (-0.1 to 0.1)
(3) Foils: 0.55 nm (-0.1 to 0.1)
(Z5-Z-37) 2.27 nm (-0.2 to 0.2)
2004 vintage.
ASML Twinscan XT 1250D ist ein Wafer-Stepper zur Herstellung integrierter Schaltungen. Es ist eine fortschrittliche Photolithographie-Ausrüstung, die komplexe integrierte Schaltungsmuster auf Halbleiterscheiben erzeugen kann. ASML TWINSCAN XT:1250D verwendet einen Vierkanallaser, der zur Belichtung von lichtempfindlichen Resists verwendet wird. Der Laser erzeugt Belichtung von vier Quadranten mit einer maximalen Auflösung von 25 nm. Der Stepper bietet zudem eine schnelle Scangeschwindigkeit mit einer Beschleunigung von 2 m/2s ² und einer maximalen Geschwindigkeit von 100 kHz. Dies ermöglicht es TWINSCAN XT 1250 D, Vollschrittprozesse innerhalb von Sekunden abzuschließen, im Vergleich zu konkurrierenden Systemen, die Minuten benötigen, um einen einzigen Prozess abzuschließen. Der Stepper bietet zudem eine extrem präzise Ausrichtungsgenauigkeit von 0,15 µm bei 150 mm Feldgröße. Dadurch wird sichergestellt, dass an den Rändern eines Wafers gedruckte Merkmale genau bleiben und nicht vom vorgesehenen Muster abweichen. Ein weiterer Vorteil von TWINSCAN XT:1250D ist die Automatisierung von Tuningprozessen. Sein Algorithmus ermöglicht es dem System, seine Parameter zu optimieren und seinen Prozess entsprechend abzustimmen, was wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. Dadurch werden die manuellen Schritte zur Optimierung des Geräts entfernt und die Produktivität erhöht. Twinscan XT 1250D ist in der Lage, im weichen bis harten UV-Bereich zu arbeiten, sodass es mit einer Vielzahl von Resists und Substraten arbeiten kann. Diese Vielseitigkeit macht den Stepper für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen geeignet. ASML TWINSCAN XT 1250 D ist eine zuverlässige und langlebige Maschine, die für mehr als 24 Stunden ohne Wartung ausgelegt ist. Es enthält auch eine erweiterte Diagnoseschnittstelle, mit der Hersteller den Status des Tools aktiv überwachen und bei Bedarf Änderungen vornehmen können. Insgesamt ist ASML Twinscan XT 1250D ein zuverlässiger und effizienter Wafer-Stepper, der komplexe integrierte Schaltungsmuster präzise und präzise auf Halbleiterscheiben erzeugen kann. Es bietet schnelle Scan-Geschwindigkeiten, automatisierte Tuning-Prozesse und kann im weichen bis harten UV-Bereich arbeiten, so dass es für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen geeignet ist.
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