Gebraucht ASML Twinscan XT 1400F #293817723 zu verkaufen
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ID: 293817723
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Immersion lithography system, 12"
2005 vintage.
ASML Twinscan XT 1400F ist ein Wafer-Stepper von ASML, einem branchenführenden Hersteller von Halbleiterherstellungs- und Lithographieanlagen. Das XT 1400F ist die vierte Generation der Plattformtechnologie von ASML und wurde entwickelt, um eine umfassende Lithographielösung für die Herstellung von fortgeschrittenem Speicher, fortschrittlicher CMOS-Logik, HF-Geräten sowie III-V-Logik und Power-Device-Herstellung zu sein. Der XT 1400F Wafer Stepper nutzt maximale numerische Apertur (NA) bis 0,75 für die feinste Auflösung, die in der Halbleiterindustrie erreicht werden kann. Mit einem umfangreichen Objektivsortiment ist das XT 1400F in der Lage, eine breite Palette funktionierender Brennweiten mit der höchsten Reichweite bis 1450 mm zu erreichen. Diese breite Palette von Brennweiten ermöglicht die Anwendung auf eine Vielzahl von Wafergrößen sowie eine breite Palette von verfügbaren Prozessknoten. Neben seiner hohen numerischen Apertur realisiert das XT 1400F durch seine schnellen, hochdynamischen Synchronmotoren eine zuverlässige und wiederholbare Positionierung. Die Motoren sind mit einer hohen Auflösung von 0,5 Nanometern ausgelegt, was eine höhere Präzision als herkömmliche Stepper ermöglicht. Das geräuscharme und schwingungsarme Design des XT 1400F macht es zu einer perfekten Wahl für hochpräzise Anwendungen in Sub-22nm-Produktionsknoten. Die fortschrittliche Masken-Handling-Technologie bietet genaue und zuverlässige Overlay-Messungen, die konsistente Prozessergebnisse für häufig wechselnde Masken garantieren. Die XT 1400F umfasst ASML neueste Track-Age-Technologien und Prozesswiederholbarkeit und ist damit der hochwertigste Stepper auf dem Markt. Es verfügt zudem über ein Mehrzonen-UV-Quellendesign, das extrem kurze Impulsbeleuchtungszeiten für eine verbesserte kritische Dimensionskontrolle bietet. Die XT 1400F verfügt auch über IQCAS (In-line Quality Controllable Assisted Stepper) - ASML einzigartiges, schnell anpassendes System, das eine schnelle Zykluszeit und einen kostengünstigeren Durchsatz ermöglicht. Mit IQCAS kann die Zykluszeit automatisch durch Bildmessungen des Inline-Scanners und durch Feinabstimmung der Beleuchtungseinstellungen optimiert werden. Insgesamt bietet Twinscan XT 1400F Wafer Stepper eine sehr zuverlässige, hochwertige und spezialisierte Lösung für erweiterte Speicher-, CMOS-Logik-, HF- und III-V-Logik- und Stromgeräteherstellung.
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