Gebraucht ASML Twinscan XT 1400F #9143647 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9143647
Wafergröße: 12"
I-line wafer stepper, 12"
ArF Exposure tool
Exposure wafer: LP*1/WS*1/Chuck*2/WH*1/RS*1/RH*1/Laser*1
193nm scanner
Photo module
Equipment type: PS-ARF
Missing parts:
Spare assy, auto shutter
Spare assy, beam reverser
Power supply assembly, DC
Power supply, switching, 480V, 3 Phase in, 24V@125A
Spare, LAM 54,471, module assy, 193nm w/EIS, w/LF, AWR
(ARF,SAM)Spare, sam module, 193nm,w/EIS, SAM
Spare,line narrowing module,LNM ,45x
WS Type1,2,3 ss1 XY motor assy
Blower motor assy
ACC MK4 Clean air fan
SPM RS Encoder head top mnt Y1
(2) Spares, blower motor controllers, XL, 56-turn
Assy, resonant charger, XLA-100, 7 joule
(2) Commutators
OC ( ArF)
Spare.assy. ArF 45w laser. long life PA chamber
Spare.assy. ArF 45w laser. long life MO chamber
WH SHB II Assy
MPCR (meas.pos.control rack)
Assy, CAN controller module, lower left optics
Power amp controller PPCA
WS Type 3+4 OXB coupl frame&clamps (XT1400)
WS Type 3+4 open X-beam assy
Spare assembly, MO web
Spare assembly, PA web
Spare, mechanical assy, ISS
DOE 193P ID18 MP2 40-Y FO
Aerial-P XT: 14X0 FO
DOE 193P ID8 MP2 90-X FO
DOE 193P ID7 MP2 90-Y FO
DOE 193P ID5 MP4 30-45 FO
Recipe creator light FO
Exposure FO
Integrated reticle library FO
AUX Port, 12" FOUP/(25) wafers FO
IRIS for Twinscan, 6" FO
Reticle CIDRW hermos (RF) FO
24-Character barcode reader Twinscan
Second laser paddle cymer
ESI EX2600 Hybrid
2005 vintage.
ASML Twinscan XT-1400F ist ein weltweit führender Wafer-Stepper, mit dem winzige Merkmale auf Photomasken für die Herstellung integrierter Schaltungen gemustert werden. Der Twinscan basiert auf einer einzigartig gestalteten Schritt- und Abtastbewegung, die ein patentiertes 1-zu-1-Verhältnis verwendet und eine schnelle, gleichmäßige Bewegung der Waferbühne gewährleistet. Twinscan XT-1400F verfügt auch über eine größere Fläche Feldgröße als konkurrierende Stepper, so dass mehr Funktionen auf einem einzelnen Substrat in einer einzigen Belichtung gedruckt werden. ASML Twinscan XT-1400F integriert hochauflösende Scan Artem-Technologie, die einen überlegenen Durchsatz und weniger falsche Kanten ermöglicht. Das schwingungsfreie Design ermöglicht die höchste Genauigkeit der Positionierung, so dass Funktionen bis zu 5 Nanometer gedruckt werden können. Der Twinscan unterstützt eine Reihe von Substraten, darunter Silizium, Quarz, Mylar und verschiedene mehrschichtige Substrate. Twinscan XT-1400F verfügt auch über eine hohe Stabilität Multi-Gas-Kammer mit einer heißen Entweichung von reaktiven Gasen, die optimale Verarbeitungszeiten und einheitliche endgültige Mikrostrukturen bietet. Darüber hinaus ermöglicht das Optics & Polarizer System dem System eine präzise Polarisationssteuerung, einen hohen Durchsatz und eine überlegene Bildqualität, während die Low Mass Wafer Stage Bildunschärfen von Vibrationen eliminiert. ASML Twinscan XT-1400F unterstützt eine breite Palette von Belichtungsparametern und ist in der Lage, konstant hochauflösende Bilder mit extrem schnellen Geschwindigkeiten zu erzeugen. Darüber hinaus ermöglicht die Software Digital MicroScanner eine einfache Bedienung und präzise Funktionalität des Systems. Schließlich führt die umgekehrte Scan-Architektur von Twinscan XT-1400F zu einer geringen Partikelverunreinigung von Photomaske und Substrat. Insgesamt ist ASML Twinscan XT-1400F ein hochmoderner Wafer-Stepper, der eine einzigartige Kombination aus überlegener Bildauflösung, ausgezeichnetem Durchsatz, Energieeffizienz und minimaler Partikelverunreinigung bietet. Es ist ideal für die Schaffung von mikroskopischen Eigenschaften auf integrierten Schaltungen, und seine Reihe von funktionsreichen Technologien macht es gut geeignet für eine Reihe von Substraten.
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