Gebraucht ASML Twinscan XT 1400F #9143647 zu verkaufen

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ID: 9143647
Wafergröße: 12"
I-line wafer stepper, 12" ArF Exposure tool Exposure wafer: LP*1/WS*1/Chuck*2/WH*1/RS*1/RH*1/Laser*1 193nm scanner Photo module Equipment type: PS-ARF Missing parts: Spare assy, auto shutter  Spare assy, beam reverser  Power supply assembly, DC  Power supply, switching, 480V, 3 Phase in, 24V@125A  Spare, LAM 54,471, module assy, 193nm w/EIS, w/LF, AWR  (ARF,SAM)Spare, sam module, 193nm,w/EIS, SAM  Spare,line narrowing module,LNM ,45x  WS Type1,2,3 ss1 XY motor assy  Blower motor assy  ACC MK4 Clean air fan  SPM RS Encoder head top mnt Y1  (2) Spares, blower motor controllers, XL, 56-turn  Assy, resonant charger, XLA-100, 7 joule  (2) Commutators OC ( ArF) Spare.assy. ArF 45w laser. long life PA chamber Spare.assy. ArF 45w laser. long life MO chamber  WH SHB II Assy  MPCR (meas.pos.control rack)  Assy, CAN controller module, lower left optics  Power amp controller PPCA  WS Type 3+4 OXB coupl frame&clamps (XT1400)  WS Type 3+4 open X-beam assy  Spare assembly, MO web  Spare assembly, PA web  Spare, mechanical assy, ISS DOE 193P ID18 MP2 40-Y FO Aerial-P XT: 14X0 FO DOE 193P ID8 MP2 90-X FO DOE 193P ID7 MP2 90-Y FO DOE 193P ID5 MP4 30-45 FO Recipe creator light FO Exposure FO Integrated reticle library FO AUX Port, 12" FOUP/(25) wafers FO IRIS for Twinscan, 6" FO Reticle CIDRW hermos (RF) FO 24-Character barcode reader Twinscan Second laser paddle cymer ESI EX2600 Hybrid 2005 vintage.
ASML Twinscan XT-1400F ist ein weltweit führender Wafer-Stepper, mit dem winzige Merkmale auf Photomasken für die Herstellung integrierter Schaltungen gemustert werden. Der Twinscan basiert auf einer einzigartig gestalteten Schritt- und Abtastbewegung, die ein patentiertes 1-zu-1-Verhältnis verwendet und eine schnelle, gleichmäßige Bewegung der Waferbühne gewährleistet. Twinscan XT-1400F verfügt auch über eine größere Fläche Feldgröße als konkurrierende Stepper, so dass mehr Funktionen auf einem einzelnen Substrat in einer einzigen Belichtung gedruckt werden. ASML Twinscan XT-1400F integriert hochauflösende Scan Artem-Technologie, die einen überlegenen Durchsatz und weniger falsche Kanten ermöglicht. Das schwingungsfreie Design ermöglicht die höchste Genauigkeit der Positionierung, so dass Funktionen bis zu 5 Nanometer gedruckt werden können. Der Twinscan unterstützt eine Reihe von Substraten, darunter Silizium, Quarz, Mylar und verschiedene mehrschichtige Substrate. Twinscan XT-1400F verfügt auch über eine hohe Stabilität Multi-Gas-Kammer mit einer heißen Entweichung von reaktiven Gasen, die optimale Verarbeitungszeiten und einheitliche endgültige Mikrostrukturen bietet. Darüber hinaus ermöglicht das Optics & Polarizer System dem System eine präzise Polarisationssteuerung, einen hohen Durchsatz und eine überlegene Bildqualität, während die Low Mass Wafer Stage Bildunschärfen von Vibrationen eliminiert. ASML Twinscan XT-1400F unterstützt eine breite Palette von Belichtungsparametern und ist in der Lage, konstant hochauflösende Bilder mit extrem schnellen Geschwindigkeiten zu erzeugen. Darüber hinaus ermöglicht die Software Digital MicroScanner eine einfache Bedienung und präzise Funktionalität des Systems. Schließlich führt die umgekehrte Scan-Architektur von Twinscan XT-1400F zu einer geringen Partikelverunreinigung von Photomaske und Substrat. Insgesamt ist ASML Twinscan XT-1400F ein hochmoderner Wafer-Stepper, der eine einzigartige Kombination aus überlegener Bildauflösung, ausgezeichnetem Durchsatz, Energieeffizienz und minimaler Partikelverunreinigung bietet. Es ist ideal für die Schaffung von mikroskopischen Eigenschaften auf integrierten Schaltungen, und seine Reihe von funktionsreichen Technologien macht es gut geeignet für eine Reihe von Substraten.
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