Gebraucht ASML Twinscan XT 1700i #293652050 zu verkaufen
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ID: 293652050
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
ArF Scanner, 12"
SMIF / FOUP
Projection lens
Material / Chemical: Align
Load Module: EFEM
Process module:
Wafer stage
Reticle stage
Wafer handler
Reticle handler
AOM Laser
Bottom module spacer
EIM
ELEC
Utility:
CYMER XLA360 Excimer laser
BSM
ACC
ENTEGRIS E51004802 Charcoal filter
AERONIX EGPS
MCWC
LCWC
WSRC
RSRC
MDC
WICC
WISC
2006 vintage.
ASML Twinscan XT 1700i Wafer Stepper ist eine hochentwickelte Wafer-Bearbeitungsmaschine entwickelt, um Wafer mit überlegenen Ebenen der Genauigkeit und Detail zu produzieren. Die Maschine ist in der Lage, eine breite Palette von Wafergrößen zu verarbeiten, und mit ihrer hohen Genauigkeit und Wiederholbarkeit kann sie eine breite Palette von Geräten mit extrem feinen Merkmalsgrößen produzieren. Der XT 1700i wird durch einen Hochleistungs-, Hochgeschwindigkeitspräzisionsmotor und verbundene Bewegungsausrüstung gesteuert. Dies ermöglicht schnelle und konsistente Bewegungen im gesamten Scanbereich, um eine hohe Genauigkeit zu gewährleisten. Sein Motor wurde entwickelt, um minimale Vibrationen und kontinuierliche Scangeschwindigkeiten von bis zu 300 Nanometern pro Sekunde zu gewährleisten. Die Maschine kann auch schnell und einfach an die Bedürfnisse einer Vielzahl verschiedener Wafer und Produktionswerkzeuge angepasst werden. Die Maschine ist auch mit einem fortschrittlichen Wafer-Handling-System ausgestattet. Dies ermöglicht ein schnelles und effizientes Be- und Entladen von Wafern sowie eine genaue Ausrichtung, Abstands- und Neigungsverstellung des Wafers. Es weist außerdem eine spezielle Musterverfolgungs-Ausrichteinheit auf, die dafür sorgt, dass das gewünschte Muster auf jedem Wafer genau repliziert wird. Der XT 1700i wird auch mit fortgeschrittenen Fokuskontrolle-Algorithmen und Hochleistungsbildaufbereitungstechnologie ausgestattet. Diese Eigenschaften ermöglichen auch bei schwer zu musternden Substraten wie DRAMs und 3D-Strukturen außergewöhnlich hohe Leistung. Die XT 1700i verfügt auch über eine Vielzahl von Hightech-Messtechniken, um sicherzustellen, dass die Ausgangsscheiben hohen Standards entsprechen. Dazu gehören eine optische Messtechnik-Maschine, ein spektrales Messtechnik-Werkzeug und ein vollständiges Profilometer. Diese Ausstattung bietet dem Anwender hochgenaue Messungen der Oberflächenqualität des Wafers und der kritischen Funktionsgrößen der winzigen Geräte. Darüber hinaus verfügt die XT 1700i über ein fortschrittliches Umweltkontrollmodell. Dieses Gerät verwendet ein hochentwickeltes Aktivkühlsystem, um sicherzustellen, dass die Maschine bei optimaler Temperatur läuft und die Wafer vor Staub und anderen Verunreinigungen geschützt sind. Insgesamt ist Twinscan XT 1700i eine extrem fortschrittliche Waferbearbeitungsmaschine, die extrem hochwertige Wafer mit überlegener Genauigkeit und Präzision herstellen kann. Es ist für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen geeignet, und seine fortschrittliche Messtechnik und Umweltkontrollsysteme stellen sicher, dass es die höchsten Standards an Qualität und Zuverlässigkeit erfüllt.
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