Gebraucht ASML Twinscan XT 850F #9211428 zu verkaufen

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Hersteller
ASML
Modell
Twinscan XT 850F
ID: 9211428
Wafergröße: 12"
KrF Scanner, 12" Laser: CYMER ELS-7610K (40W) Machine type: MES XT850F Power: 400V.
ASML Twinscan XT 850F ist ein Präzisions-Wafer-Stepper, der extremen Prozessbedingungen standhält. Es ist ein hochauflösender Wafer-Stepper, der für fortgeschrittene Halbleiterlithographieanwendungen verwendet wird. Die XT- 850F ist in der Lage, Funktionen bis zu 28nm dichte Tonhöhenauflösung mit seiner High-Fidelity-Bildgebungsausrüstung zu produzieren. Die Optik des Systems nutzt die fortschrittliche ACIS-Technologie, um die feinste Platzierungsgenauigkeit der Musterkanten zu erreichen. Twinscan XT 850F nutzt eine robuste FOUP-basierte (Front Opening Unified Pod) Plattform mit automatisierter Chargenannahme, um Prozessgleichmäßigkeit und Fehlerkontrolle zu gewährleisten. Es verfügt auch über eine fortschrittliche Inspektionseinheit und automatische Wafer-Handhabungssysteme, die schnelle Be- und Entladezeiten bei minimalem Benutzereingriff bieten. Der Stepper nutzt hochentwickelte Prozesskontrolltechnologien, die robuste und zuverlässige Lithographie-Prozesse ermöglichen. Der Wafer-Stepper ist für eine erhöhte Gerätekomplexität mit seiner Kombination aus Datenanalyse und mehrfacher Musterschichttreue konzipiert und ermöglicht ein schnelles In-situ-Feedback. Der robuste Funktionsumfang des XT- 850F wurde entwickelt, um den Durchsatz für jede Durchsatzumgebung zu maximieren. Das XT- 850F verfügt über eine Reihe interaktiver Remote-Support-Funktionen, mit denen Benutzer von Remote-Support-Mitarbeitern profitieren können, wenn sie ihre Einstellungen anpassen. Diese Funktion wurde entwickelt, um die Zeit zur Lösung technischer Probleme zu reduzieren und einen optimalen Durchsatz zu gewährleisten, damit Benutzer die Maschineneinstellungen schnell an sich ändernde Prozessbedingungen anpassen können. ASML Twinscan XT 850F ist ein vielseitiger Wafer-Stepper mit robusten Prozesskontrolltechnologien, kombiniert mit seiner hohen Genauigkeit, seinem hohen Durchsatz und seiner Remote-Unterstützung.
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