Gebraucht ASML Twinscan XT2 1700FI #293620719 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293620719
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2007
Stepper, 8"
Notch wafer
CYMER XL 360 Laser
DNS / DAINIPPON RF 300/200 Wafer track interface
Chemical sampling port
Water cooling for electric cabinet
Universal pre-alignment
Mark sensor
Integrated reticle library
IRIS Reticle, 6"
Recipe creator
EFESE
Polarization metrology
Image tuner
Grid mapper
Dose mapper
AGILE
Lithocruiser
Carrier interface: 25-Wafer open cassette kit
Oiu / Reticle: Right configuration
Power supply: 400 V
2007 vintage.
ASML Twinscan XT2 1700FI ist ein Spitzen-Wafer-Stepper für die Hochleistungs-Chip-Produktion. Es ist in der Lage, bis zu 4,25 Mil Wafer pro Stunde mit einer maximalen Linienbreite von 350 nm zu produzieren. Seine Waferwaagen reichen von 200 mm bis 450 mm, was eine optimale Herstellung einer breiten Palette von Chips ermöglicht. Die XT2 1700FI ist auf ASML AArrid™ Belichtungssteuergeräten aufgebaut, die es Anwendern ermöglichen, die Dosisverteilung und -ausrichtung genau zu steuern. Das System nutzt einen proprietären Schnellscanalgorithmus, der die benötigte Belichtungszeit reduziert. Seine kleinere Scan-Größe ermöglicht dünnere Linien und bessere Kantenschärfe. Die Belichtungsleistung ist auch einstellbar, so dass Benutzer Chips mit hoher Präzision produzieren können. Die XT2 1700FI verfügt zudem über eine aktive Fehlerkompensationseinheit, die Fehlstellungen durch Verarbeitungsschwankungen und Vibrationen reduziert. Diese Maschine wird Schätzungen zufolge Fehlausrichtungen um bis zu 25% reduzieren. Das XT2 1700FI verfügt auch über das ASML Quality Assurance Tool (QAS), das zur Automatisierung der Datenerfassung und -berichterstattung für Zwecke der Feedback-Kontrolle entwickelt wurde. Damit können Chiphersteller aus Produktionsdaten lernen, um Produktionsprozesse zu optimieren. Die XT2 1700FI ist für den Einsatz in Reinraumumgebungen konzipiert und kann in einem Wellenlängenbereich von 285nm bis 455nm betrieben werden. Es ist auch mit einem flexiblen Vorausrichtungs-Subsystem ausgestattet, das Stufenfehler und Fehlstellungen kompensiert und gleichzeitig Multi-Die-Anwendungen unterstützt. Die XT2 1700FI ist sehr zuverlässig, mit einer mittleren Zeit zwischen Ausfällen (MTBF) von 1.000.000 Expositionen. Darüber hinaus ist sie mit einer aktiven Welkendeckung von 94,1% und einem Q-Wert von 5,04 stark kontrollierbar. Abschließend bietet ASML TWINSCAN XT 2 1700 FI eine breite Palette von Funktionen und Funktionen, was es zu einer zuverlässigen und kostengünstigen Wahl für die Produktion von Chips mit hoher Ausbeute macht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor