Gebraucht ASML XT 1250 #9293667 zu verkaufen

ASML XT 1250
Hersteller
ASML
Modell
XT 1250
ID: 9293667
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
ArF Scanner, 12" 2004 vintage.
ASML XT 1250 ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um hochpräzise Photolithographie für die Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen bereitzustellen. Es ist ein Rastermikroskop, das Wafer mit einer Auflösung von 0,25 Mikrometern abbilden kann. Der Stepper ist speziell für den 290nm UV Kurzwellenlängenbereich konfiguriert, so dass er sogar Nanostrukturmerkmale mit einer hohen Genauigkeit abbilden kann. ASML XT1250 ist ein zweistufiges System, das sowohl eine Hauptbasisstufe als auch eine sekundäre Teilstufe aufweist. Diese Kombination ermöglicht es dem System, die Stabilisierung während der schnellen Geschwindigkeitsabtastung zu erfassen und aufrechtzuerhalten und gleichzeitig klar abgebildete Muster zu erzielen. Die Hauptbasisstufe setzt zur Bewegungssteuerung auf Piezo-Elektrik, während die Teilstufe zur genauen Positionierung einen Rückkopplungsmotor verwendet. XT 1250 verfügt auch über eine aktive Geräteausrichtung, die die Position benachbarter Geräte mit Nanometergenauigkeit überprüft. Die Maschine wird von einem laserbasierten Zernike-Interferometer angetrieben, das eine extrem präzise Bildgebung und Strukturierung bei reduzierter Belichtung ermöglicht. Dieser Low-Power-Laser eliminiert die Möglichkeit, Artefakte durch thermische Drift abzubilden. Darüber hinaus verfügt der Stepper über eine In-situ-Wafer-Bildgebungsfunktion, die eine Echtzeit-Erkennung von Bildfehlern ermöglicht und es dem Benutzer ermöglicht, Anpassungen entsprechend vorzunehmen. XT1250 verfügt auch über erweiterte Prozesssteuerung und optische Software, die Benutzern Informationen über das Verhalten der Linse, die Teilchengrößenverteilung und die Bildauflösung zur Verfügung stellt. Darüber hinaus ermöglicht die Software es Benutzern, wichtige Parameter wie Fokus und numerische Blende anzupassen, um die Prozessleistung zu optimieren. Schließlich ist das System mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie Objekterkennung und Augenschutz, um potenzielle Gefahren zu schützen. Insgesamt ist ASML XT 1250 ein leistungsstarker Wafer-Stepper mit einer Vielzahl von Funktionen, die eine präzise Bildgebung und fortschrittliche Prozesskontrolle gewährleisten.
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