Gebraucht ASML XT 1250B #9383217 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ASML XT 1250B ist ein Wafer-Stepper für die Lithographie in der Halbleiterindustrie. Es bietet eine effektive Musterübertragung auf Halbleiterscheiben mit verbesserter Geräteleistung und verbesserter Produktivität. Dieser Wafer-Stepper verwendet eine Vielzahl von Linsentechnologien, um den Abbildungsstrahl genau auf die Waferoberfläche zu fokussieren, was eine präzise Platzierung und Replikation von Mustern ermöglicht. ASML XT:1250B Plattform kann fortschrittliche Linsentechnologien wie EUV/DUV und mehrere Belichtungsfelder verwenden. Dies ist ein zweistufiger Wafer-Stepper, der ein patentiertes zweistufiges Vakuumsystem verwendet, um verschiedene Substratgrößen für die flexible Geräteproduktion unterzubringen. Es ist modular aufgebaut, so dass es schnell konfiguriert und für die Serienproduktion umkonfiguriert werden kann. Darüber hinaus verwendet XT 1250B ein Submikron-hochauflösendes Projektionsoptiksystem, mit dem Muster mit Linienbreiten im Bereich von 0,2-1,2 µm erzeugt werden können. Dieser Wafer-Stepper ist mit einem Vakuum/Differential-Ladesystem und einem Kamera-Autofokus ausgestattet, der das bildgebende Objektiv und das Kameraobjektiv in einer einzigartigen Konfiguration für eine hochpräzise Ausrichtung kombiniert. Es wurde entwickelt, um die Partikelbildung zu reduzieren und das Gleichgewicht der kontaminationsfreien Bildgebung zwischen den Stufen zu verbessern. XT:1250B verfügt auch über einen geräuscharmen Schrittregler und einen Motorantrieb, der eine zuverlässige In-Taktung für eine präzise Substratpositionierung bietet. ASML XT 1250B ist auch in der Lage, eine intensive Musterüberlagerung auszurichten und Bildverarbeitungssoftware für den Bildvergleich und die Messsteuerung zu verwenden. Diese Maschine wurde entwickelt, um Platzierungsunterschiede mit Hilfe einer erweiterten Bildanalyse zu verringern. Zusammenfassend ist ASML XT:1250B ein leistungsstarker Wafer-Stepper für die Lithographie. Das zweistufige Design, die fortschrittliche Bildgebungstechnologie und die optimierten Sensorsysteme ermöglichen es, präzise Muster mit minimaler Kontamination und verbesserter Detektionsgenauigkeit zu erzeugen. Die hocheffiziente Verarbeitung dieser Maschine eignet sich sowohl für die Serienfertigung als auch für die präzise Geräteherstellung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor