Gebraucht ASML XT 1250D #293623548 zu verkaufen

ASML XT 1250D ist ein Vollfeld-Step-and-Scan-Gerät, das für die großvolumige Lithographie von Halbleiterscheiben verwendet wird. Es basiert auf der Architektur der XT 1200-Serie und bietet eine Reihe von Anwendungen, die den Lithographie-Anforderungen verschiedener Kunden entsprechen. Die Maschine ist in der Lage, Muster mit hoher Dichte mit fortschrittlicher Overlay- und Überbelichtungssteuerung zu erzeugen. Es wurde entwickelt, um einen hohen Durchsatz, niedrige Betriebskosten und ausgezeichnete Durchsatzleistung zu liefern. XT 1250D verfügt über ein hochmodernes optisches System mit einer hohen numerischen Apertur, das eine hervorragende Auflösung und Bildqualität bietet. Es beherbergt drei Arten von Fotoresists für Einzel-, Doppel- und Dreifachbelichtungen. Darüber hinaus verfügt es über eine fortschrittliche Wafer-Handhabungseinheit mit eingebauten Sicherheits- und Fehlertoleranzfunktionen. Der Stepper wurde entwickelt, um eine hohe mechanische Integrität und Stabilität zu erhalten und ist mit benutzerfreundlichen Diagnose- und Steuerungssystemen ausgestattet. Die Maschine verfügt auch über eine fortschrittliche Stufe und bildgebende Steuerung Maschine, die hohen Durchsatz, stabile Musterung und schnelles Feld-of-View-Schalten ermöglicht. Die Lithographie-Optik bietet eine verbesserte Leistung durch fortschrittliche Laserausrichtungs- und Wartungsfunktionen. Das Tool ist hochautomatisiert und kann einfache Einzel- bis Mehrfeldbelichtungen durchführen. Die Stufenbahnsteuerung basiert auf einer hochgenauen Abtastservo- und Laserausrichtung, die eine schnelle und genaue Ausrichtung ermöglicht. Die Embedded Software und Architektur von ASML XT 1250D ist so programmiert, dass hohe Leistung, Reproduzierbarkeit und Einheitlichkeit gewährleistet sind. Es bietet zuverlässiges Datenmanagement und einfachen Zugriff auf Prozessparameter für zeitsparende Reproduzierbarkeit. Externe Hardware kann auch für eine verbesserte Umwelt- und thermische Stabilität integriert werden. Die Maschine bietet auch skalierbare Ausgangsleistung für eine optimale Dosisregelung. Insgesamt ist XT 1250D eine leistungsstarke, hochpräzise Schritt-und-Scan-Anlage, die eine Reihe von photolithographischen Prozessen mit feiner optischer Steuerung bewältigen kann. Seine erweiterte Optik kann weite Belichtungsbereiche bewältigen und die eingebettete Software bietet benutzerfreundliche Bedienung, schnellen Durchsatz und zuverlässige Musterung.