Gebraucht ASML XT 1250D #293624486 zu verkaufen

ASML XT 1250D ist ein Wafer-Stepper für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist eine 4-Spur-Ausrüstung in der Lage, ultra-feine Feature-Verarbeitung. Das System verwendet eine LaserRay Reflex 3 Laserquelle, die eine Belichtung von 250 nm bis 1700 nm bietet, und einen integrierten hochempfindlichen Abbildungskopf mit 405 nm Wellenlänge. Die 200 mm x 300 mm Matrix des Geräts kann ein hochauflösendes Bild mit einer Pixelgröße von bis zu 0,2 Mikrometern verarbeiten und ermöglicht so die Strukturierung fortgeschrittener Halbleiterbauelemente unter Mikrometern. Die Maschine enthält auch erweiterte Konstruktionsmerkmale wie intelligente Überlappungssteuerung, Musteranpassung und Feldanpassung, um eine genaue Platzierung des Abbildungskopfes über der Halbleiterscheibe zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht ein Strahlspur- und Fokuskontrollwerkzeug eine genaue Platzierung und Fokussierung des Abbildungsstrahls, was für den korrekten Druck feinster Geometrien entscheidend ist. XT 1250D nutzt für eine verbesserte Kontrastauflösung einen hochmodernen thermischen Bildgeber mit einer maximalen Betriebstemperatur von bis zu 370 ° C. Darüber hinaus verfügt die Anlage über verschiedene Sicherheitsmerkmale, darunter einen Mikrodosis-, Fernlicht-Strommonitor, Echtzeit-Fehlerüberwachung und ein 5-stufiges Sicherheitsverriegelungsmodell. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine hochpräzise Stufe mit Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit. Ein optisches Ausrichtungsmikroskop dient zur Positionierung von Genauigkeit und Verifikation, wodurch sichergestellt wird, dass der Wafer quadratisch und auf der Bühne zentriert ist. Darüber hinaus kann das System mit bis zu 3 Automatisierungsrobotern konfiguriert werden, was einen schnelleren Prozessdurchsatz und eine bessere Auslastung der Maschinenressourcen ermöglicht. Schließlich erfüllt ASML XT 1250D diese Anforderungen durch seine proprietäre Kommunikationsverbindung, die optimiert wurde, um eine Echtzeit-Unit-Überwachung bereitzustellen, mit einem ständig steigenden Bedarf an genauer Stepper-Leistung und Zuverlässigkeit. Die Maschine kann auch in interne Netzwerke integriert werden, was eine Datenanalyse und Remote-Prozessüberwachung ermöglicht. Insgesamt bietet XT 1250D eine hochproduktive, hochpräzise Umgebung für die Herstellung von Mikro- und Halbleiterbauelementen.