Gebraucht ASML XT 1250D #9366114 zu verkaufen

ASML XT 1250D ist ein Wafer-Stepper für tiefe ultraviolette (DUV) Lithographieverfahren. Die Maschine koordiniert bis zu drei optische Komponenten, darunter Laser, Retikel und Linsen, um anspruchsvolle Mikrochip-Muster mit einstelliger Nanometergenauigkeit zu erstellen. Es bietet die branchenführende Beleuchtungsgleichförmigkeit und schnelle Scanzeiten mit überlegener dynamischer Strahlsteuerung. XT 1250D besteht aus einem 1600 mm großen quadratischen Rahmen mit einer maximalen Geschwindigkeit von 7mm/s. Es ist mit Schwingungsisolation, drei Luftlagersystemen und Z-Bus-Integration ausgestattet. Das Produkt kann auch Fernscannen von bis zu 420 cm unter Beibehaltung von 15 Nanometern Genauigkeit durchführen. Darüber hinaus kann der Cutter angepasst werden, um eine Vielzahl von Wafergrößen von 125mm bis 300mm Durchmesser zu verarbeiten. Das Optik-Array-Modul auf ASML XT 1250D enthält vier Hauptziele und zwei Teilziele sowie ein Reticle-Ziel. Es ist mit einer speziellen 2X 0.5 NA 0.400 AR1 ausgestattet, die eine gleichmäßige Bestrahlung über den gesamten Wafer bietet. Ferner wird zwischen dem Objekt und der Pupille eine Flüssigkristall (LC) -Linse angeordnet, um das Licht entsprechend dem Bedarf der Anwendung zu modulieren. XT 1250D wurde entwickelt, um Leistung und Präzision für eine Vielzahl von Verarbeitungsstufen zu liefern. Es verfügt über ein einzigartiges DBC-System (Dynamic Beam Control), das höhere Bildraten und schnellere Belichtungszeiten ermöglicht. Darüber hinaus ist das Produkt in der Lage, Merkmale bis zu 20 nm zu erzeugen und ist ideal für die heutigen fortschrittlichen Halbleiterprozesse. ASML XT 1250D ist ein branchenführendes Stück modernster Ausrüstung, das routinemäßig in Serienanlagen eingesetzt wird. Die Kombination aus Leistung, Präzision und Zuverlässigkeit macht es zu einer idealen Wahl für fortschrittliche Lithographie-Prozesse.