Gebraucht ASML XT 1400 #9259958 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9259958
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
ArF Scanner, 12"
Process: Lithography
SMIF System
SMIF Loadport
Handler system:
Wafer handing robot
Reticle handler
Process chambers:
Exposure stage
Measurement stage
Reticle stage
CYMER Laser
MDC
LCWC
MCWC
WSRC
RSRC
ACC + ENTRGERIS Filter unit
Projection lens
2006 vintage.
ASML XT 1400 ist ein Wafer-Stepper, der in der Halbleiterindustrie zur präzisen Strukturierung fortgeschrittener Geräte auf Silizium-Wafern verwendet wird. Die Maschine bietet den höchsten verfügbaren Durchsatz auf dem Gebiet, in der Lage, 3.000 0,25-Mikron-Belichtungsschichten in einem einzigen Rezept zu liefern. Es garantiert die Gesamtgenauigkeit jeder belichteten Maske mit einem höchsten Overlay-Durchsatz von 15 Nanometern. Die XT 1400 wird durch ein umfassendes Niederspannungsbeleuchtungsschema mit hoher Flussleistung angetrieben, was eine minimale Leistungsaufnahme und maximale Strukturierungstreue bedeutet. Sein Belichtungssystem verfügt auch über eine erweiterte Software-Suite und ein optisches Subsystem, um eine maximale Effizienz bei der Strukturierung von Geräten zu gewährleisten. Ausgestattet mit hochoptimierten Maskenhandhabungsalgorithmen und Schichtoptimierungsmethoden kann ASML XT 1400 optimale Ergebnisse in der Lithographie-Zykluszeit liefern. Die Maschine ist für unterbrechungsfreie Wafer-Strukturierung mit den höchsten Durchsatzraten ausgelegt, mit einem automatischen Aperturhandhabungssystem, das sich an die Größe der herzustellenden Vorrichtung anpasst. Darüber hinaus verfügt XT 1400 über eine robuste thermische Konfiguration mit passiver Kühlung und Temperaturkompensation, um Schichtgleichförmigkeit und Null-Drift-Fokus zu gewährleisten. Zusätzlich zu seinen fortschrittlichen Lithographiesystemen nutzt ASML XT 1400 mehrere Strahlen in jeder Position oder Orientierung, um die Fertigung auf ein ganz neues Niveau der Raffinesse zu bringen. Das Auto Alignment Tool der nächsten Generation ermöglicht den Vergleich zwischen dem belichteten Wafer und der ursprünglichen Maskenebene mit hervorragender Wiederholbarkeit der Leistung. XT 1400 ist das leistungsstärkste Stepper-Tool auf dem Markt und liefert Ergebnisse der nächsten Generation mit unübertroffenem Durchsatz, Zuverlässigkeit und Genauigkeit. Diese Maschine hat die Fähigkeit, Produktionslinien in Geräteherstellungsanlagen einzurichten, die sonst nicht möglich gewesen wären.
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