Gebraucht ASML XT 1400 #9304319 zu verkaufen

ASML XT 1400
Hersteller
ASML
Modell
XT 1400
ID: 9304319
ArF Scanner.
ASML XT 1400 ist ein optischer Stepper, der für die Halbleiterlithographie verwendet wird. Es ist speziell für Anwendungen mit tiefem Ultraviolett (DUV) konzipiert. Der Stepper kann Wafer bis 200mm Größe präzise mustern und ist ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug für die Masken- und Retikelproduktion. Die Maschine hat einen hohen Durchsatz und wurde entwickelt, um die Geschwindigkeit und Qualität der Geräteherstellung zu erhöhen. Dadurch verkürzt sich die Markteinführungszeit und erhöht die Ausbeute für die Wafer-Fertigung. Der Stepper hat zwei Stufen; die erste Stufe wird zur Maskenausrichtung und die zweite Stufe zur Waferausrichtung verwendet. Es hat eine Auflösung von 0,8 Mikron über sein gesamtes Bildfeld. XT 1400 verfügt über ein großes Sichtfeld, das bis zu 1010 mm misst und die Handhabung größerer Objekte ermöglicht. Es verfügt über eine mechanische Ausrüstung, die sehr effektiv ist und eine Überlagerungsgenauigkeit von weniger als 0,7 Mikron erzeugen kann. Dies ermöglicht eine präzise Strukturierung und höhere Erträge. Es verfügt auch über ein fortschrittliches Belichtungssteuerungssystem, das die Variabilität der Prozessparameter reduziert und eine gleichmäßige Dosis über das Expositionsfeld beibehält. Der Stepper verfügt über einen verzerrungsarmen Scanner, der dazu beiträgt, Defokus und Verzerrungen von Bildern zu minimieren. Es kann auch in Kombination mit einem Resist-Beschichtungsmodul und einem Spin-Prozessor verwendet werden, die dazu beitragen, Kosten zu senken und die Effizienz zu verbessern. Es verfügt auch über eine Stabilisierungseinheit für Fokus und Beleuchtungsstabilität, um sicherzustellen, dass die Ergebnisse konsistent und genau sind. ASML XT 1400 ist in der Lage, hochauflösende Bildgebung mit hohem Durchsatz und Genauigkeit. Seine Kombination aus fortschrittlicher Optik, Mechanik und umweltfreundlichem Beleuchtungswerkzeug macht es zu einem perfekten Werkzeug für hochpräzise Musterung. Die Maschine ist einfach zu bedienen und zu warten, und ihre zuverlässige Leistung sorgt dafür, dass die Wafererträge maximiert werden.
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