Gebraucht ASML XT 1400E #9289671 zu verkaufen

ASML XT 1400E
Hersteller
ASML
Modell
XT 1400E
ID: 9289671
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Lithography system, 12" SMIF / FOUP ARF Scanner Projection lens: RMS Z5-Z37 : 2.65 nm RMS spherical: 0.76 nm RMS coma: 1.92 nm RMS astigmatism: 0.45 nm RMS 3-foil: 0.71 nm Straylight at ref. blocksize: 0.75% Illumination: Integrated slit uniformity setting: 0.9% Illumination intensity setting: 1575 mW/cm2 Dose repeatibility Dose accuracy setting Pupil verification Ellipticity setting: 0.321 mean Missing parts: BMU Y1 Shuttle hook motor hose connect parts (2) PSU Workstation R-chuck PMB 5 MPD Box SHB E-Rack SHB Component box WH Robot PPD DIFF Sensor (2) CCM Zero laser box MCCB (2) PAAC CPM Board load 2006 vintage.
ASML XT 1400E ist ein hochmoderner Wafer-Stepper, der in der Halbleiterindustrie zur lithographischen Strukturierung integrierter Schaltungen eingesetzt wird. XT 1400E verwendet fortschrittliche Technologien wie eine 6-achsige Non-SA Constant Scan (NASC) -Stufe für verbesserte Genauigkeit und Geschwindigkeit. Diese Maschine hat eine numerische Öffnung von 0,55 und eine Feldgröße von bis zu 200mm. Es ist in der Lage Belichtungszeit so kurz wie 10 Millisekunden und kann Wiederholbarkeit innerhalb von 5nm durchführen. ASML XT 1400E wurde speziell entwickelt, um Abbildungen und Belichtungen auf einem Wafer zu widerstehen, um feine Leitungsschaltungen und Funktionen wie Verbindungen und Gräben zu erstellen. Es ist auch in der Lage, automatische Ausrichtung von mehreren Belichtungsformen und Überlagerung von mehr als 90 Schichten von Mustern aus Designs. Dies reduziert den Bedarf an komplexen lithographischen Belichtungsrezepten. XT 1400E verwendet eine fortschrittliche Beleuchtungsausrüstung, um die Oberflächenrauhigkeit der Belichtungsergebnisse zu reduzieren. Möglich wird dies durch den Einsatz eines Hochpulslasers und eines' Super High NA'(SHNA) Off-Axis-Beleuchtungssystems. Dies ermöglicht eine dynamische Kontrolle der Belichtungsintensität und ermöglicht eine dynamische Ausrichtung sowohl für die Bildgebungs- als auch für die Belichtungsgenauigkeit. ASML XT 1400E verfügt über mehrere integrierte Sicherheitsfunktionen. Seine interne Laserverriegelung an Belichtungsstellen reduziert das Risiko einer Laserbelichtung und eine Kollisionsdetektionseinheit überprüft die unerwartete Bewegung von Belichtungselementen. Darüber hinaus verfügt XT 1400E über eine eingebaute Umweltkontrollmaschine zur Aufrechterhaltung optimaler Arbeitstemperaturen, Luftfeuchtigkeit und Luftqualität während des Betriebs. Abschließend ist ASML XT 1400E ein fortschrittlicher und hochentwickelter Wafer-Stepper mit der Fähigkeit, Bild- und Belichtungsresistenz auf einem Wafer zu erzeugen, um feine Leitungsschaltungen, Funktionen und Verbindungen zu erstellen. Die eingebauten Sicherheitsfunktionen, das fortschrittliche Beleuchtungswerkzeug und die Umweltkontrolle sorgen immer wieder für einen nahtlosen und genauen Betrieb.
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