Gebraucht ASML XT 1400E #9289674 zu verkaufen
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ID: 9289674
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Lithography system, 12"
In-line
SMIF
Automation online component: SECE
Reticle size, 6"
Wafer type: Notch
Inline flow: Right
CYMER XLA-165 Laser
LED
WL and RL:
WL: Type 3
RL Library: Left
PPD Type: PPD2
Lens and Illumination:
BMU Type: Standard
Appeture INA:
Conv: 0.95
Annual: σAnn.(0.950/0.633)
Lens: PL Purge
Stage:
SCAN Speed: 500 mm/sec
Chuck: Pin chuck
Pin chuck: TIS Align.
2005 vintage.
ASML XT 1400E ist ein Wafer-Stepper, eine Art Lithographie-Maschine, die in der Halbleiterindustrie zum Übertragen von Mustern auf einen Halbleiterwafer im Herstellungsprozess verwendet wird. Es ist eine fortschrittliche Ausrüstung, die entwickelt wurde, um einen hohen Durchsatz und Genauigkeit zu erreichen und gleichzeitig eine lange Produktlebensdauer zu erreichen. XT 1400E nutzt extreme ultraviolette (EUV) Lithographie, um Photolackschichten auf der Waferoberfläche zu strukturieren. Dieser Prozess verwendet einen schnell pulsierenden Laserstrahl, um ein Muster aus Licht und Schatten auf dem Wafer zu erzeugen, um Schaltungswege zu schaffen. Es verwendet auch ein piezoelektrisches Betätigungssystem, um den Wafer schnell und genau relativ zum Lichtmuster zu bewegen. ASML XT 1400E verfügt über ein innovatives Design mit offener Architektur, mit dem Anwender die Lithographieeinheit schnell an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können. Zum Beispiel kann es konfiguriert werden, um mehrere Schrittköpfe zu unterstützen, so dass es mehrere Lithographie-Anforderungen zu bedienen. Es enthält auch integrierte Funktionen für Prozesssteuerung, Maschinendiagnose und Rezeptanpassung. XT 1400E ist sehr zuverlässig, mit einer bewährten Erfolgsbilanz für die Bereitstellung von hohen Durchsatz und wiederholbare Genauigkeit, auch unter rauen Bedingungen. Es verfügt über robuste technische Fähigkeiten und erfüllt die hohen Anforderungen an Durchsatz, Werkzeuggenauigkeit und Präzisionssteuerung in der Halbleiterlithographie-Industrie. Das Asset kann auf einem Standfuß installiert oder in ein Clustermodell eingebettet werden. ASML XT 1400E ist mit einer Reihe von Diagnose-, vorausschauenden Wartungs- und Zustandsüberwachungswerkzeugen ausgestattet, mit denen die Maschine in Echtzeit überwacht werden kann. Dies ermöglicht es Benutzern auch, Probleme schnell und genau zu beheben sowie potenzielle Risiken zu ermitteln und zu korrigieren, bevor sie sich auf die Produktion auswirken. Die Geräte sind einfach zu bedienen und zu warten, mit Funktionen wie Autoloadern, automatisierten Wartungsroutinen und intuitiven Benutzeroberflächen. XT 1400E ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug, das bei der Optimierung von Halbleiterherstellungsprozessen und der Verbesserung der Produktqualität helfen kann.
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