Gebraucht ASML XT 1400E #9298749 zu verkaufen

ASML XT 1400E Wafer Stepper ist eine Lithographie-Maschine für photolithographische Anwendungen. Es ist eine Vollfeld-, Schritt-und-Scan-Ausrüstung, die hohe numerische Apertur (NA) Belichtungsoptik verwendet, um Bilder des Wafers zu erzeugen, die von seinem Abbildungssystem vor der Verarbeitung erfasst werden. Die Maschine eignet sich für die Bildgebung in einer Vielzahl von Halbleiterverarbeitungsanwendungen wie Photolithographie und Photomaskenproduktion. XT 1400E Lithographiemaschine bietet einen Durchsatz von bis zu 18 Wafern pro Stunde und eine Feldgröße von bis zu 13mm Quadrat und ist somit ideal für mittlere und große Serienanwendungen. Es ist für die Verarbeitung von bis zu 675nm Auflösung ausgelegt und ist aufgrund seiner hochauflösenden Optik in der Lage, extrem dünne und präzise Schichten zu entwickeln. Mit dem Gerät können 12-Zoll-Wafer mit einer Genauigkeit von bis zu 1,4 bearbeitet werden. ASML XT 1400E ist mit einem modernen Scanner-Controller ausgestattet, der in der Lage ist, eine erweiterte Belichtungs- und Ausrichtungssteuerung bereitzustellen. Die Maschine ist mit einer Reihe von Treibersoftware-Tools ausgestattet, die zur Anpassung und Feinabstimmung der Ausrichtungsparameter und zur Optimierung der Belichtungseinstellungen für verschiedene Schichten verwendet werden können. Es ist auch in der Lage, mehrere Scanner für große Waferproduktion gleichzeitig zu steuern. XT 1400E ist mit einem Bewegungssteuerungswerkzeug ausgestattet, das eine hochauflösende, hochpräzise Bühnenbewegung ermöglicht. Das Asset verwendet ein geschlossenes PID-Steuerungsmodell, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Es hat auch mehrere Ein- und Ausgangsfähigkeit, die Fernsteuerung der Ausrüstung ermöglicht. ASML XT 1400E umfasst eine branchenführende chemische Verarbeitungseinheit, die auf präzise Dosierungen verschiedener Chemikalien bei hohen Durchsatzgeschwindigkeiten ausgelegt ist. Das Gerät unterstützt sowohl nasse als auch trockene Prozesse sowie selektives Ätzen und Sputtern. Diese chemische Verarbeitungseinheit hat auch die Fähigkeit, Schicht-Schicht-Dicke-Variation zu lesen und das Volumen und die Platzierung von chemischen Tröpfchen einzustellen. Insgesamt ist XT 1400E ein leistungsfähiger und zuverlässiger industrieller Wafer-Stepper, der präzise bildgebende und chemische Verarbeitungsergebnisse liefern kann. Seine hohen Durchsatzgeschwindigkeiten, kombiniert mit seinem flexiblen Design und seinem breiten Spektrum an Belichtungs- und Verarbeitungsfähigkeiten, machen es zu einer idealen Wahl für Photolithographie und andere Halbleiterprozesse.